Устройство для контроля герметичности изделий в вакууме Советский патент 1988 года по МПК G01M3/04 

С

сд

( 14

.114

Изобретение относится к области кс|нтроля герметичности изделий масс- сг ектрометрнческим методом.

Цель изобретения - повышение дол- гс|вечности путем исключения окисления

катода при напуске атмосферного воздуха в вакуумную камеру.

На чертеже представлена схема уст рсйства для контроля герметичности JQ изделийв вакууме.

Устройство Содержит полюсные нако- н4чники 1 и 2р расположенную между масс-спектрометрическую камеру 3 с отверстием, по периметру которого 5

:тановлено уплотнение 4, и с размещенными в ней катодом 5 и ионизатором

ионов, корпус 7j закрепленный на

шюсном наконечнике 1, подпружинен- ние относительно корпуса 7 рычажные 20

жимы 8j соединенные с корпусом 7сФормула изобретения

Предлагаемое устройство позволяет увеличить время межрегламентной работы с 30 до 100 ч благодаря улучшению вакуум.ньк условий хранения катода при перерывах в работе.

ионами пробного газа, подается импульс питания на катушки электромагнитов 9. Магнитное поле катушек электромагнитов 9 взаимодействует с магнитным полем наконечника 1, и плечи рычажных зажимов 8 притягиваются к наконечнику 1, освобождая крышку 10, которая герметизирует масс-спектрометрическую камеру 3 путем прижима к уплотнению 4. После этого происходит разгерметизация вакуумной камеры с сохранением вакуума в масс-спектрометрической камере 3.

Предлагаемое устройство позволяет увеличить время межрегламентной работы с 30 до 100 ч благодаря улучшению вакуум.ньк условий хранения катода при перерывах в работе.

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спек- трометрическим методом. Целью изобретения является повышение долговечности путем исключения окисления катода при напуске атмосферного воздуха в вакуумную камеру. Устройство содержит полюсные наконечники 1. и 2, между которыми расположена масс спек- трометрическая камера 3 с подпружи-j ненной крышкой 10 с электромагнитаьш. На полюсном наконечнике 1 установлен корпус 7 держателя с рычажными зажимами 8j которые имеют возможность вращения относительно поперечной оси, перпендикулярной оси отверстия масс- спектрометрической камеры 3. Крьшка 10 в открытом положении взаимодействует с-рычажными зажимами 8. 1 иЛ.

зможностью вращения относительно )перечной оси, перпендикулярной оси верстия масс-спектрометрической кам(ры 3, электромагниты 9, размещен- 25 магнитную систему, выполненную в виHilie на апечах рычажных зажимов 8, крышку 20, подпружиненную относитель I масс-спектрометрической камеры 3 направлении, совпадающем с осью отверстия масс-спектрометрической ка меры 3, с возможностью взаимодействи

открытом положении с рычажными за- ж)1мами 8j и электромагнит 11, закреп на крышке 10 „

Устройство работает следующим образом.

; После установки устройства в ва- камеру (не показана) и соз- дЬния в ней требуемого вакуума пода- питание на катушку электромаг- н|ита 11. Магнитное поле катушки элек т|ромагнита 11 взаимодействует с маг- н|итным полем наконечника 1 и переме- Цает вверх крышку 10 масс-спектро- йетрической камеры 3, фиксируемую йодпружиненными рычажными зажимами 8. После этого отключается .питание катушки электромагнита 11, и крьшиса lie находится в открытом положении.

По окончании испытаний, во время которых при включенном катоде 5 регистрируется ионный ток, образованны

ВНИИПИ Заказ 3645/37

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для контроля герметичности изделий в вакууме, содержащее

О

5

0

5

0

де полюсных наконечников с общим маг- нитопроводом, и масс-спектрометрическую камеру с отверстием, размещенную между полюсными наконечниками отличающееся тем,-что, с целью повьшзения долговечности, отверстие в масс-спектрометрической камере выполнено в стенке, обращенной к одному из полюсных наконечников, устройство снабжено держателем, выполненным в виде корпуса, закрепленного на полюсном наконечнике со стороны отверстия, подпружиненных относительно корпуса рычажных зажимов, соединенных с корпусом с возможностью вращения относительно поперечной оси, перпендикулярной к оси отверстия масс-спектрометрической камеры, электромагнитов, размещенных на плечах рычажных зажимов, крьшкой, подпружиненной относительно масс-спектрометрической камеры в направлении, совпадающем с осью отверстия, с возможностью взаимодействия в открытом положении с рычажными зажимами, и электромагнитом, закрепленным на крьш1ке.

Тираж 847

Подписное