Устройство для контроля герметичности изделий Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектро- метрическим методом.

Целью изобретения является расширение эксплуатационных возможностей путем обеспечения контроля герметичности изделий разной формы.

На фиг, 1 схематично представлено устройство при проверке герметичности фрагмента трубы, размещенной в вакуумной камере, продольный разрезJ на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1j на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1.

Устройство для контроля герметичности изделий содержит вакуумную ка- меру 1 с гермостенкой 2, в которой размещена проверяемая труба 3, на которой с возможностью перемещения установлены полюсные наконечники 4 и 5 магнита,образующие масс-спектро- метрическую камеру. На наконечнике 5 укреплена торцовая крьшка 6 с источником 7 ионов, содержащим прямона- кальный катод 8, и приемником 9 ионов В соосных отверстиях наконечников 4 и 5 установлены втулки 10, жестко .прикрепленные к концам пружины 11, выполненной из трансформирующего материала с эффектом памяти, например никелида. На полюсных наконечниках 4 и 5 укреплены дистанционно управляемый вентиль 12 контрольной течи 13 и выносной каскад 14 усилителя. На концах втулок 10 закреплены фиксаторы в виде пневмоцилиндров 15, штоки 16J которых связаны с подвижными . вставками 17.

Блок 18 управления камерой, блок 19 измерения ионного тока и блок 20 управления контрольной течью 13 элек трически связаны через гермостенку 2 с соответствуюощми элементами устройства, а пневмоцилиндры 15 соединены пневмомагистралями с пультом управ- ления, размещенным за гермостенкой 2 (не показано).

Устройство работает следующим образом.

После создания в вакуумной камере 1 вакуума достаточного для работы источника 7 ионов, включается пнев- моцилиндр 15 фиксатора, связанного с полюсным наконечником 5, при этом полюсной наконечник 4 занимает поло- жение,определяемое равенством упругости холодной пружины 11 и силы магнитного притяжения наконечников 4 и 5. В этом положении наконечник 4 фиксируется пневмоцилиндром 15, Затем включается прямонакальный катод 8 источника 7 ионов, и с помощью контролируемой течи 13 производят оценку чувствительности системы испытаний. После этогов испытываемую трубу 3 по дают пробный газ, например, гелий и определяют негерметичность участка трубы между наконечниками 4 и 5. В процессе проверки герметичности прямонакальный катод 8 радиационно нагревает пружину 11. По окончании проверки, выключении катода В и снятии фиксатора с наконечника 4 последний под действием нагретой и приобретающей первоначальную форму пружины 11 из трансформирующего материала, например , никелида перемещается в направлении, указанном стрелкой, и фиксируется в новом положении пневмоцилиндром 15. При остывании пружины 11 при снятии фиксаторов с наконечника 5 последний притягивается к наконечнику 4 и вновь занимает положение, определяемое равенством упругости холодной пружины 11 и силы магнитного притяжения наконечников 4 и 5. Затем цикл повторяется.

При изменении последовательности фиксации наконечников 4 и 5 направле ,ние движения устройства меняется на противоположное,

При замене трубы 3 на технологическую направляющую, размещенную вблзи гермостенки 2, и обдува последней пробным газом осуществляют проверку герметичности гермостенки 2.

Предлагаемое устройство позволяет производить испытание на локальную герметичность изделий различной конфигурации, работающих в условиях вакуума.

Формула изобретения

Устройство для контроля герметичности изделий, содержащее магнит, масс-спектрометрическую камеру с источником и приемником ионов пробного газа, размещенными между полюсными наконечниками магнита, имеющими соосные отверстия, системы управления камерой и измерения ионного тока, контролируемую течь, установленную на камере, и механизм перемещения камеры, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей путем обеспечения контроля изделий разной формы,

масс-спектрометрическая камера образована полюсными наконечниками, механизм перемещения вьшолнен в виде пружины из материала с эффектом памяти,

закрепленной на полюсных наконечниках магнита соосно с его отверстиями, а устройство снабжено фиксаторами, закрерленными на полюсах.

6-6

А 7/

фЬг2

J5

сриеЗ

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий масс- спектрометрическим методом и позволяет расширить эксплуатационные возможности путем обеспечения контроля герметичности изделий разной формы. Масс-спектрометрическая камера образована поверхностями полюсных наконечников 4 и 5. На торцовой крьшке 6 закреплены источник 7 и приемник 9 ионов пробного газа. В соосных отверстиях наконечников 4 и 5 установлены втулки 10, на которых закреплены пружина 11 из материала с эффектом памяти и фиксаторы. В процессе контроля источник 7 нагревает пружину 1 1 и после расфиксации наконечника 4 он под действием пружины 11 перемещается в новое положение, в котором фиксируется. Расфиксируют наконечник 5, пружина 11, остывая, сжимается, и наконечник 5 также фиксируется в новом положении,.после чего контролируют новьм участок. 3 ил. (С (Л