Способ криоконденсационной откачки Советский патент 1988 года по МПК F04B37/08 

С02

СНч

сыхь7

о

J

/о

о

00

00 СП

С)

о

-..А.

Изобретение относится к способам получения вакуума с помощью криоконденсаци- онных средств откачки. Цель изобретения - повышение экономичности. Криопанель 3 охлаждается путем подачи в нее жидкого азота, после чего сопло 2 на криопанель подается откачиваемый газ СО., которьи конденсируется с образованием пористого конденсата, после чего подачу откачивае- .мого газа прекращают и ocyiucc i в.пяют нагрев конденсата путем подачи в насос неконденсируемого газа- мотана при т-ре конденсации. Метан адсорбируется в порах конденсата по всей его глубипс. .Адсорбция метана сопровождается обьемным тепловыделением, что приводит к на|-реву конденсата и его перекристал. 111зации, в рсзу.-1ьт;пе которой уменьп1ается нористост ; с.чоя п iio- вышается его теп.юпроводпость. 11спо.1ь:«)- вание теплоты адсорбции д. 1я нагрева конденсата исключает отогрев криопаиолп, а вместе с этим и пзлиншие потери .хладагента на ее последующее охлаждение. I n, i. (О

Жидкий Л,

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам получения вакуума с помощью криоконденсационных Средств откачки.

Цель изобретения - повышение эконо1|1ИЧНОСТИ.

I На чертеже представлена схема криона- фоса, реализующего предлагаемый способ. Крионасос содержит корпус 1 с соплом , через которое в корпус 1 подается откачиваемый газ, размещенную в корпусе 1 Криопанель 3, и магистраль 4 для подвода еконденсируемого при температуре криопа- Йели газа. В качестве хладагента для крио- Ианели 3 используется, например, жидкий зот. Откачиваемый газ - двуокись угле- зода, а неконденсируемый газ - метан. I Способ реализуют следующим образом. I Криопанель 3 охлаждается путем подачи IB нее жидкого азота, после чего через сопло |2 на Криопанель 3 подается откачиваемый |газ СО2, который конденсируется с обра- 1зованием пористого конденсата. По мере |увеличения толщины конденсата ухудшается |теплоотвод с поверхности теплоты конден- сации, поскольку теплопроводность пористого конденсата невелика. В результате температура на поверхности конденсата повышается, что приводит к повышению давле- :ния в объеме насоса. Поэтому после конденсации порции откачиваемого газа его юдачу прекращают и осуществляют нагрев конденсата путем подачи в насос неконденсируемого газа - метана, который адсорбируется в парах конденсата по всей его

глубине. Причем вследствие больших значений теплоты адсорбции, превышающей теплоту конденсации, адсорбция метана сопровождается объемным тепловыделением, что приводит к нагреву конденсата и .его перекристаллизации, в результате которой уменьшается пористость слоя и повышается его теплопроводность. После завершения процесса перекристаллизации конденсат охлаждается, так как подачу неконденсируемого

газа прекращают, а после охлаждения осуществляют подачу в насос новой порции откачиваемого газа.

Использование теплоты адсорбции для нагрева конденсата исключает отогрев крио- панели, а вместе с этим и излишние потери хладагента на ее последующее охлаждение, что повыщает экономичность предлагаемого способа криооткачки.

Формула изобретения

Способ криоконденсационной откачки, включающий охлаждение криопанели до температуры конденсации откачиваемого газа, конденсацию порции откачиваемого газа с образованием пористого конденсата, нагрев

и охлаждение последнего и последующую конденсацию новой порции откачиваемого газа, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, нагрев конденсата осуществляют путем подачи на криопанель газа, не конденсируемого при температуре

конденсации, и адсорбирования его в порах конденсата.