Способ работы криогенного насоса Советский патент 1984 года по МПК F04B37/08 

Изобретение отнсюится к вакуумной технике. Известен способ работы криогенного насоса, заключающийся в конден сации откачиваемого газа на криоген ной панели С11. Недостаток способа состоит в том ч-то для того, чтобы обеспечить пренебрежшхо малое испарение с поверхности ранее сконденсированных молекул газа, процесс конденсации ведут при большом перенасьЕденйи, т.е. тем пературу панели поддерживают значительно более НИЗКОЙ, чем температура насыщения откачиваемого газа при давлении откачки. Известен способ работы криогенно го насоса, включающий конденсацию откачиваемого газа на криогенной па нели и последующую регенерацию пане ли с конденсатом путем вывода ее из зоны откачкиИ нагрева t21. Удаление конденсата в известном способе требует нагрева криопанели до температуры значительно более высокой, чем температура насьвдений конденсата при давлении откачиваемого газа. Повьшение температуры регенерируемой криопанели приводит к повышению расхода криоагента на пойторное охлаждение ее до исходной температуры. Цель изобретения - повышение эко номичности. . Указанная цель достигается согласно способу работы криогенного на соса, включающему конденсацию откач ваемого газа на криогенной панели и последуннцук регенерацию панели с конденсатом путем вывода ее из зоны откачки и нагрева, нагрев панели осуществляют до температуры насьлцения конденсата при давлении откачиваемого газа. На чертеже изображен криогенный насос, реализующий предлагаемый способ. Насос содержит корпус 1 с размещенной в нем криогенной панелью, вы полненной в виде барабана 2 с ребра ми 3. Криогенная панель окружена эк раном 4 с На входе в насос размещен жалюзийный экран 5. Откачиваеьшй газ проходит через жалюзийный экран 5, охлаждаемый жидким азотом, и снижает свою температуРУ ДО 80. - . Затем откачиваемый газ конденсируется на нижней половине панели, барабан 2 которой наполовину заполнен низкотемпературным хладагентом, например жидким неоном. При давлении более 10 Па состояние откачиваемого газа по отношению к температуре криогенной панели (27°К) характеризуется как перенасыщенное и образующийся конденсат будет иметь сильно пористую структуру и низкий коэффициент теплопроводности. При вращении барабана 2 вокруг своей оси ребра 3, поднятые вверх, будут отепляться вследствие теплопритока от экрана 4. Соответственно будет повышаться температура конденсата, расположенного на них. Степень повышения температуры конденсата на ребрах 3 регулируется скоростью вращения барабана 2 и доводится до температуры насыщения, соответствуницей давлению откачиваемого газа. При этом происходит перекристаллизация конденсата и повьашается его теплопроводность, Дальнейший поворот барабана 2 приводит к охлаждению жидким хладагентом ребер 3 и конденсата на них до ис- . ходной температуры и к возвращению поверхности конденсации вновь в зону откачки. В случае давления откачиваемого газа равном 10 Па периодический нагрев конденсата до температуры насыщения приводит к укрупнению кристал-. лов более чем на порядок и к увеличению коэффициента теплопроводности конденсата в 2-3 раза. Таким образом, предлагаемый способ работы вакуумного криогенного насоса позволяет более чем вдвое снизить термическое сопротивление слоя конденсата, тем самым замедлить скорость падения интенсивности откачки с рос.том его толщины и повысить экономичность за счет сокреицення расхода хладагента.

СПОСОБ РАБОТЫ КРИОГЕННОГО НАСОСА/ включающий конденсацию откачиваемого газа на криогенной панели и последующую регенерацию панели с конденсатом путем вывода ее из зоны откачки и нагрева, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, нагрев панели осуществляют до температуры насыщения конденсата при давлении откачиваемого газа. О О со 00 00