Вакуумный крионасос Советский патент 1990 года по МПК F04B37/08 

вающнй элемент, выпопненньш в виде сосуда (С) 3 для крноагента Сосуд о снабжен горловиной 4, закрепленной на крышке;2я Змеевик 5 закреплен на поверхности С 3 с тепловым контактом и имеет входной конец 6, герметично введенньш во внутреннюю полость С 3 и расположенный выше уровня крио агента В горловине 4 С 3 размещен спфон 9 для подачи крира.гента, уста новлеиный с возможностью осевого не ремещения и снабженный уплотнитель ным кольцом 10 Кольцо 10 расположен

но на наружной поверхности сифона:9. На нижнем торце горловины 4 закреплено клапанное седло 11 Выходной конец 13 змеевика 5 герметично под соединен к горловине 4 выше седла 11. Между витками змеевика 5 размеще на кассета 7 с адсорбентом:8 Кассета 7 снабжена газопроницаемым экраном 12, Конденсация откачиваемого газа на поверхностях С 3 и змеевика 5 происходит в виде твердой фазы. Неконденсируемые газы откачиваются адсорбентом 8 через экран 12« 1 ил

Изобретение относится к вакуум ной технике и может быть использова но для получения высокого вакуума Цель изобретения повышение эконо мичности крионасоса путем снижения расхода крноагента на предваритель ное охлаждение. По оси корпуса 1 с верхней крышкой 2 расположен откачи (Л 1C

Изобретение относится к BaKyyjyj- ной технике, а именно крионасосам, предназначенным ддя получения высо кого вакуума

Целью . изобретения является повы шение экономичности путем сни кения расхода криоагента на предваритель - ное охлаждение насосяв

На чертеже представлена схема крионасосав

Вакуумный крионасос содержит кор- пус 1 с верхней-крьшкой 2 и располо женный по оси корпуса 1 откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3 для криоагента, снабженного горло виной 4, закрепленной на верхней крышке 2, змеевиком 5, закрепленным на поверхности сосуда 3 с тепловым контактом и нмеюш,им входной конец 6, герметично введенный во внутреннюю полость сосуда 3 и расположенный ше уровня криоагеита, и кассетой 7 с адсорбентом 8, размещенным между витками змеевика;5« Насос дополнительно содержит размещенньй в горловине 4 сосуда 3 сифон 9 для подачи криоагента, устаковленный с возможностью осевого перемещения и спабженнья уп- лотнйтельиым кольцом 10, расположен- ным на его наружной поверхности, и. закрепленное на шркнем торце горловины 4 клапанное седло 1I« Кассета снабжена газопронидаежш экраном 12, закрепленным с тепловым контактом йа эмеев11ке. 5, выходной конец 13 которого герметично подсоединен к гор ловине 4 вьипе седла 11 « Кроме того, крионасос снабжен подцоном 14 дня сбара конденсата, закрепленныгМ с теп.-

35

25

.,0

. .Q дд 55

ловым контактом на нижних витках змеевика 5, и охлаждаемым экраном 15, расположенным между стенкой корпуса 1 и сосудом.За

Крионасос работает следующим образом и

Предварительно осуществляется ва- куумирование полости корпуса 1 и охлаждение экрана 15, а также предварительное захолаживание сосуда 3 путем подачи в него по змеевику 5 хладагента (жидкого азота) , ПО Сле доведения температуры сосуда 3 до температуры хладагента последний удаляется из сосуда 3, сифон 9 опускается в горловину 4 таким образом, что уплот- нительное кольцо 10 входит в контакт с клапанным седлом 11, обеспечивая раз/деление в зоне торца горловины 4 полости сосуда и горловины Через сифон 9 в полость сосуда 3 подается криоагент (жидкий гелий), который, охлаждает сосуд 3, а его пары через входной конец 6 отводятся по змеевику 5, дополнительно охлаждая сосуд, Выход паров осуществляется через гор- ловпну;4э По мере охлаждения сосуда 3 и повьш1ения уровня криоагента в нем ВО31-1ОЖНО попадение в змеевик 5 паро- жидкостной смеси,и выброс, части жидкости через выходной конец 13, Благодаря соединению выходного конца .13 змеевика 5 с горловиной 4 жидкий криоагент задер кивается в. горловине, а пары его отводятся. При подъеме сифона 9 жидкий криоагент вновь может быть возвращен в сосуд 3, что обеспечивает, эконоштеное использование крио- агента

514

При работе крионасоса в форвакуум - ном режиме, когда давление откачивае мого газа превышает его давление в тройной точке, образующейся на как сосуда 3 и на змеевике 5 жидкий конденсат стекает в поддон 14, где в дальнейшем при понижении давления замораживается.

При работе крионасоса в качестве высоковакуумното средства откачивае мый газ целесообразно подавать в него при условии достижения рабочей температуры на стенках сосуда:3« Конденсация откачиваемого газа на поверхностях сосуда и змеевика осу ществляется в этом случае в твердую фазу, а неконденсируемые газы отка чиваются адсорбентом, проникая к не му через газопроницаемый экран 12. Формула изобретения

Вакуумный крионасос, содержащий корпус с верхней крьщнсой и располоРедактор Л.Письман

Техред М .Моргеитал

Заказ 3329Тираж 498Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, , Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г.Ужгород, ул. Гагарина,101

д 5 0

V

женный по оси корпуса откачивакнций

элемент, вьтолненный в виде сосуда для криоагента, снабженного,горлови ной, закрепленной на верхней крьшке, и змеевиком, закрепленным на поверх ности сосуда с тепловым контактом и именицим входной конец, герметично введенный во внутреннюю полость со суда и расположенный выше уровня криоагента, о тличающийся тем, что, с целью повышения экономич ности путем снижения расхода крио агента на предварительное охлаждение, насос дополнительно содержит разме ценный в горловине сосуда сифон для подачи криоагента, установленный с возможностью осевого перемещения и снабженный уплотнительным кольцом, расположенным на его наружной поверх ности, и закрепленное на нижнем торце горловины клапанное седло, а вы ходной конец змеевика герметично подсоединен к горловине выше седла.

Корректор В.Гирняк