Устройство для откачки камеры Советский патент 1988 года по МПК F04B37/06 

Изобретение отнОч :ится к вакуумной технике, а именно к испытаниям Е вакууме.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей устройства путем обеспечения постоянной скорости откачки ич вакуумной камеры.

На фи1 . 1 продстяплена схема предлагаемого устройства; на фиг. . - принципиальная электрическая схема управлепутя электромагнитными клапанами .

Устройство для откачки камеры состоит из вакуумной камеры 1, соединенной через электромагнитный клапан 2 с байпасным трубопроводом 3, электромагнитными клапанами Д-В соответственно с секциями компенсатора 9, а электромагнитным клапаном 10 - с высоко- вакуумным насосом 11, Форвакуумньш насос 12 связан с высоконакуумньи насосом 11 и комтенсатором 9 чере з клапан 13. Электроконтактные вакууметры 1А-16, установленные в камере 1, своими контактами Г/ - 21 соединены с контактами 22-32 реле 33-37, которые соединены с обмотками электромагнитны клапанов 2,4-8,10. Выключатель 38 - для включения ineKTiJocxeMbi.

Устройство для откачки камеры работает слел,умчп1м образом.

Секции компенсатора 9 пред,варя- тельно откачиваются форвакуумным насосом 12 через клапаны 13,4-8. После откачки сек1ши до давления 1 х х10 мм рт.ст, клапаны закрь вают- ся.Далее устройство работает вавтома- тическомрежиме: пссле чклю11емия ыкли- чателя 38 п юисходит включе1 ие гчектромагнитного клапана 2через нормально замкнутьп контакт 30 реле 37 и плектро- мзтиитного клапана - чере ) но замкнутым контакт 22 ре.ме 33. Поток газа ич камеры 1 поступает р пер- вую секцию компе.нсатсра 9. Г)лионре- менно срабапывают реле 34 и Зо, подготавливая к работе злектромаг ни 1-)ые . клапаны 5 и 7. При ;оси жснни ;;аиле- ния в камере 1 . соответс:твук11,р1-о замыканию контакта 17 1лектрок(и aK i но- го вакуумметра 14, срабатывает .те 33 .и контактом 22 откл.ючг.от ,;i)i

ле 34 обесточивается и контактом 2А закрывает клапан 5, а контактом 25 открывает клапан 6. Газ из камеры 1 поступает в третью сек1Д1ю компенсатора 9. При достижении давления в камере 1, соответствующего замыканию контакта 19 электроконтактного вакууметра 15, срабатывают реле 37 и контактом 26 г акрывает клапан 6, а контактом 27 открывае ; клапан 7„ Газ из камеры 1 гтоступает в четвертую ек1Ц1ю компенсатора 9„ При достижении даапения, соот зетствующего размыканию контакта 20 электроконтактногс вякууметра 15, обесточивается ре-ле 36 и контактом

28закрывает клапан 7, а контактом

29откр ывает клапан 8. Газ из камеры 1 пост т1ает в послед,нюю компенсатора 9 о Ппи .достижении давления замускя лысоковакуумного насоса, со- ответствуюс1его замыканию контакта 21 электроконгактного вакууметра 16, сра б;п 1 шает реле 37, контактом 31 за- крьшая клапан 8, контактом 30 закрывая клапан 2 и контактом 32 открьшая клапан 10. Производится высоковакуумная откачка камеры 1 насосом 11.

Обьем каждой секпии компенсатора выбирается из услович обеспечения равномерности скорости откачки камеры, а имен1;о

„.....

}. р. -

п .

4i)

з Q 5

0

где i RK р. V порядковьй номер секции; i - 1,2.. л:;

количе ТсО секций, выбранное из условия раиеыстда конечного давления в камере 1 впускному давлению высоковакуум- чого насоса 11, и численно равное значению времени откачки камеры в секунд,ах; объем i-и сетции компенсатора;

начальное давление в камере; конечное давление в камере, равное максимс шьному впускному давлению высоковакуумного пасоса; объем камеры.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет расширить функциональные возможности устройства путем обеспечения постоянной скорости откачки из вакуумной камеры. Вакуумная камера 1 соединена высоковакуумным трубопроводом с высоковакуумным насосом 11, а байпасным трубопроводом - с форвакуумным насосом 12. Между насосами установлен компенсатор 9, выполненный секционным и Уснабженный электромагнитными клапанами. В камере установлены датчики давления, в качестве которых используются электроконтактные вакууметры. Контакты блока реле соединены с контактами вакууметров и с электромагнитными клапанами. Объемы секций компенсатора м.б. рассчитаны по определенной формуле в зависимости от начального давления в камере, макс, впускного давления насоса 11, количества секций и объема камеры. Секции компенсатора 9 предварительно откачиваются форвакуумным насосом 12, затем поток газа из камеры 1 поступает в секции компенсатора. При достижении давления запуска насоса 11 закрываются клапаны 8, 2 открьшается клапан 10 и производится высоковакуумная откачка камеры 1 насосом 11. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. /О / /у fSfif / / / i (Л K.i,. Z 7

4,а контактом 23 открывает кллпан

Формула изобретения

дом с высоковакуумным насосом, а байпасным трубопроводом - с форва- куумным насосом, причем оба трубопровода содержат клапаны, компенсатор, установленный между насосами, и датчики давления, расположенные в камере, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства путем обеспечения постоянной скорости откачки из вакуумной камеры, компенсатор выполнен секционным и снабжен электромагнитными клапанами, а в качестве датчиков давления используются электроконтактные вакууметры, кроме того, устройство для откачки дополнительно снабжено блоком реле, контак-ты которого соединены с контак3789

тамн вакуумметров и с электромагнитными клапанами.

Ve.

Р fjL.

п

Р. - (

P- -Z-Si

п

)i

Р.Г начальное давление в камере; максимальное впускное давление высоковакуумного насоса;

Vj;. - объем i-й секции;

-порядковый номер i 1,2...,п;

-количество секций;

-объем камеры.