Устройство для измерения клиновидности оптических прозрачных пластин Советский патент 1988 года по МПК G01B11/26 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения кли- новидности оптических прозрачных пластин.

Цель изобретения - повышение точности измерения.

На чертеже приведена оптическая схема устройства для измерения клино идности оптических прозрачных плас- {гин.

I Устройство содержит источник 1 ко ерентности света, фокусирующую сис- Т ему 2, светоделитель 3, установлен- фый под углом к оптической оси, пер- ое отклоняющее зеркало А, которое установлено с возможностью перемещения вдоль оптической оси, приспособление 5 для установки измеряемой 1}ластины 6, экран 7 с измерительной сеткой, второе отклоняющее зеркало 8 Светоделитель 9 и третье отклоняющее зеркало 10. Источником 1 когерентног йвета служит лазер. Второе отклоняю- пцее зеркало 8 расположено перед экраном 7 на пути светового потока, отраженного от первого светоделителя 3 Третье отклоняющее зеркало 10 уста- 1|овлено под прямым углом к второму (Отклоняющему зеркалу 8. Второй све- т| оделитель 9 размещен между вторым 8 третьим 10 отклоняющими зеркалами И плоскости симметрии прямого угла, Образуемого этими зеркалами. Плос- ijocTb симметрии прямого угла, в Которой размещен светоделитель 9, Перпендикулярна плоскости экрана 7. Ребро прямого угла, образованного Зеркалами 8 и 10, ориентировано под УГЛОМ к плоскости экрана 7. В устройстве этот угол равен 45.

Устройство работает следующим образом.

Пучок света источника 1 с помо- щью фокусирующей системы 2 концентрируется в точку. Далее в виде расходящегося пучка свет лазера проходит через светоделитель 3 и падает на отклоняющее зеркало 4, которое направляет пучок света на измеряемую пластину 6, установленную на приспособлении 5 с отверстием, через

Устройство для измерения клиновидности оптических прозрачных пластин, содержащее расположенные на одной оптической оси источник когерентного света и оптически связанные фокусирующую систему, два свето делителя, первый из которых размещен за фокусирз ющей системой под острым углом к оптической оси, перв зеркало, экран с сеткой, приспособл ние для установки пластин и второе зеркало, расположенное перед экраном напротив первого светоделителя о т личающееся тем, что, с целью повьппения точности измерения, оно снабжено третьим зеркалом, установленным под углом 90 к второму, и вторым .светоделителем, размещенны между вторым и третьим зеркалами в плоскости симметрии прямого угла, образуемого этими зеркалами, перпендикулярной экрану, а плоскость синкоторое пучок света проходит, попадая

на пластину 6. Пучки лучей, отражен- 55 метрии прямого угла перпендикулярна

ные поверхностью пластины 6, вторич-, экрану.

ЬНИШШ Заказ 4756/35 Тираж 68QПодписное

Произв.-полигр, пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

0

5 0

5

0

но отражаются зеркалом 4, затем частично отражаются светоделителем 3 в направлении зеркала 8, отражаются от зеркала 8 в направлении светоде-- лителя 9. .

Части пучков, отраженные светоделителем 9, вторично отражаются зеркалом 8 в направлении экрана 7 и образуют на нем интерференционную кар- тину в виде концентрических колец. Части пучк ов, прошедшие через светоделитель 9, отражаются зеркалом 10 в направлении экрана 7 и также создают на нем интерференционную картину в виде концентрических колец. Поворачивая измеряемую пластину на приспособлении 5, добиваются, чтобы расстояние между центрами двух наборов интерференционных колец бьшо максимальным. С помощью сетки экрана измеряют эти расстояния и, зная цену деления сетки экрана, а также расстояние между центрами интерференционных колец, получаемое при установке на приспособление идеальной плоскопараллельной пластины, определяют угол клиновидности измеряемой пластины.

Формула изобретения

Устройство для измерения клиновидности оптических прозрачных пластин, содержащее расположенные на одной оптической оси источник когерентного света и оптически связанные фокусирующую систему, два светоделителя, первый из которых размещен за фокусирз ющей системой под острым углом к оптической оси, первое зеркало, экран с сеткой, приспособление для установки пластин и второе зеркало, расположенное перед экраном напротив первого светоделителя о т- личающееся тем, что, с целью повьппения точности измерения, оно снабжено третьим зеркалом, установленным под углом 90 к второму, и вторым .светоделителем, размещенным между вторым и третьим зеркалами в плоскости симметрии прямого угла, образуемого этими зеркалами, перпендикулярной экрану, а плоскость син

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения кли- новидности оптических прозрачных деталей. Цель изобретения - повышение точности измерения. Свет от источника 1 формируется фокусирующей систе10 мой 2 в расходящийся световой пучок, который с помощью отклоняющего зеркала 4 направляется на измеряемую пластину 6. Пучки света, отраженные поверхностями пластины 6 с помощью зеркала 4 и светоделителя 3, направляются на оптический блок, состоящий из расположенных под прямым углом зеркал 8 и 10 и светоделителя 9, установленного между зеркалами в плоскости их симметрии. В оптическом блоке пучки разделяются на две части и направляются на экран 7 с измерительной сеткой, образуя на нем два набора концентрических интерференционных колец. Измеряя расстояния между центрами колец, определяют угол клиновидности измеряемой пластины 6. 1 ил. В i (Л КС 4