Способ изготовления пресс-формы для отражателя жидкокристаллического дисплея Советский патент 1988 года по МПК G03F7/00 

сл

с

Изобретение позволяет повысить светоотражающие свойства отражателя. На фop иpyюIцeй поверхности пресс- формы создают периодическую структуру в виде канавок путем лазерного скрай- бирования. Канавки глубиной не менее их пптрины вьшолнены на расстоянии друг от друга, равном их ширине. Фор-, мирование боковой цилиндрической поверхности канавок осуществляют травлением в полирующем травителе до достижения угла светоотражения в плоскости, перпендикулярной оси канавок, нормально падаюо|его на, поверхность пресс-формы параллельного пучка света 125-127. 3 ил.

4

ю

о

о

00

сл

Изобретение относится к технике изготовления индикаторных устройств для часов5 микрокалькуляторов, приборных панелей автомобиля и жидко- кристаллических дисплеев электронных часов.

Цель изобретения - повышение светотражающих свойств отражателя, изготовленного с помощью пресс-формы.

На фиг, 1 изображена формирующая поверхность пресс- ормы с канавками прямоугольной формы, которое получают после лазерного скрайбирования, разрез; на фиг. 2 - структура после полирующего травления, разрез; на фиг. 3 - геометрический ход лучей свта, претерпевшего отражение на полученной структуре.

Пози1шями 1-3 на фиг« 3 обозначен лучи параллельного пучка света. Из фиг. 1 видно, что расстояние между канавками равно ширине- самих канавок и равно а,

Дпя получения светоотражающей

структуры необходимо, чтобы h а. В продессе полирующего травления структура претерпевает изменения и ее сечение приобретает вид, пред- став-пенный на фиг. 2, При этом при достижении максимального угла све- тоотражения сечение цили щрических канавок, как показали экспериментальные исследования , приобретают вид полукруга, так, что h R, а 2R, Из геометрии хода лучей, представленного на фиг. 3, следует, что нормально падающее на поверхность пресс-формы лучи 1-3 света отражаютс цилиндрической поверхностью соответ- ственно в направлениях АЛ А ., МОМ , ВВ В , обеспечивая угол отражения А ГВ, равньй 2оС . Как следует из хода луча, именно лучи .РА и FB определяют максимальный угол светоот- ражения. Максимальный угол светоот- ражения системы,, образованный канавками с цилиндрической поверхностью, определяется из формулы

2«i Zarctg OB /OF

и в конкретном случае для ОВ R и OF R/2 равен

2oL : 2iirctg 2, 2оС 127°.

Пример , Изготовление пресс- формы для отражателя жидкокристалли

Q

5

0

5

0 с . о j

0

5

ческого дисплея oc цecтвлялocь на образце из монокриста:ишческого кремния ориентации 111 . Образец представлял собой пластину диаметром 76 мм и толщиной 1,0 мм, обрабатываемая поверхность которой бьта предварительно отишифована и отполирована.

Формирование канавок с прямоугольным сечением производили путем обр-а- ботки на лазерном скрайбере М-220. Полученная регулярная структура представляет собой параллельные канавки щи- риной 50 мкм. Энергетический режим работы лазера ЛТИ-502 (Л 1,06 мкм) обеспечивает при плотности энергии 0,5x10 Вт/см удаление материала из зоны обработки без образования наплывов, перемычек на поверхности канавок с минимальным количеством окалин на их краях. Процесс предварительной химической обработки включает удаление продуктов взаимодействия с лазерным излучением во фтористоводородной кислоте 10 г/л в течение 20 с при 20 С, промывку в проточной деионизи рованной воде в течение 5 мин. Формирование боковой цилиндрической поверхности ка- производили травлением поверхности формируюп1ей ее части в полирующем травителе для кремния СР-8 (азотная кислота 3 ч, фтористоводородная кислота 1 ч., уксусная кислота 1 ч.). Процесс травления производился до достижения угла светоотражения 125 в плоскости, перпендикулярной оси канавок нормально падающего на поверхность пластины неразведенного пучка лазера ЛГ-38, сквозь отверстие в экране, на котором бьша нанесена разметка в виде окружности соответствующего ему диаметра.

Возможность формирования с помощью полученной формующей поверхности обратного (дополнительного) рельефа отражателя жидкокристаллического дис- плея бьша оценена путем полива плен- ки поливинилового спирта. После ее сущки со стороны рельефа напылялось алюминиевое покрытие и производилась оценка светотехнических параметров отражателя. Анализ показал равномерность светоотражающих свойств по полю жидкокристаллического дисплея, более высокую контрастность фона и расширение угла обзора считываемой информации.

31429085

Формул а изобр етения

10 р

Способ изготовления пресс-формыл для отражателя жидкокристаллического дисплея, включающий создание на формирующей поверхности пресс-формы периодической структуры объемных элементов в виде продольных канавок, боковым поверхностям которых придается цилиндрическая форма, отличающийся тем, что, с цепью повышения светоотражающих свойств

1 2К

отражатапя, периодическую структуру объемных элементов формируют путем лазерного скрайбирования канавок глубиной не менее их ширины с расстоя- нияьш между ними, равными пшрине канавки, с последующим травлением формирующей поверхности в полирующем травителе до достижения угла светоот- ражения в плоскости, перпендикулярной оси канавок, нормально падающего на поверхность пресс-формы параллельного пучка света 125 - 127 .

(Риг.Г

9иг.2

Ыг.З

Л