Молекулярный вакуумный насос Осанова Советский патент 1988 года по МПК F04D19/04 

00

а

оэ

Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики вакуум-насоса. В корпусе 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 размещен ротор. Ротор вьтолнен в виде вала 4, на котором закреплена втулка 5. Втулка 5 снабжена радиальными поводковыми пластинами 6 с пазами. В пазах размещена гибкая спиральная лента7,закрепленная одним концом на втулке 5 Вал 4 выполнен полым и снабжен патрубком 8 для подачи хладагента. Лента 7 изготовлена из высокотеплопровод- ного материала и снабжена сорбирующим покрытием, что увеличивает вероятность захвата молекул и способствует их преимущественной миграции в зону с более низкой температурой. 2 ил.

(Pue.i

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения - улучшение от- качных характеристик насоса,

На фиг. 1 представлен насос, про- дольньй разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиго 1.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками и размещенный в корпусе 1 ротор, выполненный в виде зала 4, закрепленной на нем втулки 5, снабженной радиальными поводковыми пластинами 6 с пазами, и размещенной в них гибкой спиральной ленты 7, закрепленной одним концом на втулке 5. Вал 4 выполнен полым и снабжен патруком 8 для подачи хладагента, а лента 7 выполнена из высокотеплопроводного материала и снабжена сорбирующим покрытием.

Насос работает следующш 5 образом,

Откачиваемый газ поступает в кор- пус 1 насоса через входной патрубок 2. При вращении вала 4 молекулы откачиваемого газа, попадая в зазор между витками спирали ленты 7sпереносятся к выходному патрубку 3, соединенному центральной зоной корпуса 1. Охлаждение вала 4 а также ленты 7 через поводковые пластины 6 создает на ленте 7 градиент температур

10

ts

2025

30

-/

от периферии к центру, где она ниже, что обеспечивает уменьшение вероятности возврата молекул, попавших в зазор спиральной ленты, к периферии корпуса. Кроме того, наличие сорбирующего покрытия на ленте 7 увеличивает вероятность захвата молекул движущейся поверхностью ленты и способствует их преимущественной миграции в зону с Ьолее низкой температурой, т.е. в направлении откачки.

Таким образом, совокупность признаков, характеризующая предлагаемый насос, обеспечивает улучшение его от- качных характеристик.

Формула изобретения

Молекулярньй вакуумньй насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками и размещенный в корпусе ротор, выполнеиньй в виде вала, закрепленной на нем втулки, снабженной радиальными поводковыми пластинами с пазами, и размещенной в них гибкой спиральной ленты, закрепленной одним концом на втулке, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, вал выполнен полым и снабжен патрубком для подачи хладагента, а лента выполнена из высокотеплопроводного материала и снабжена сорбирующим покрытием. /