Вертикальный турбомолекулярный насос Советский патент 1989 года по МПК F04D19/04 

Физ.1

1

Верхняя крышка 5 ротора 4 со стороны входного патрубка 2 имеет коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами 6. Попадающие на поверхность крышки 5 молекулы газа отражаются преимущественно в направлении боковой стенки входного патрубка 2, который выполнен в виде усеченного ко79/02

нуса с углом наклона образующей к оси корпуса 1 не менее 45 . Отражение молекул от стенок входного патрубка 2 преимущественно происходит в направлении проточной части насоса, За счет попадания в проточную часть молекул, соударяющихся с крышкой 5, увеличивается эфЛективная быстрота действия насоса. 1 з.п. Ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса путем повышения вероятности откачки молекул газа, попадающих на вход насоса. Верхняя крышка 5 ротора 4 со стороны входного патрубка 2 имеет коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами 6. Попадающие на поверхность крышки 5 молекулы газа отражаются преимущественно в направлении боковой стенки входного патрубка 2, который выполнен в виде усеченного конуса с углом наклона образующей к оси корпуса 1 не менее 45°. Отражение молекул от стенок входного патрубка 2 преимущественно происходит в направлении проточной части насоса. За счет попадания в проточную часть молекул, соударяющихся с крышкой 5, увеличивается эффективная быстрота действия насоса. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

I

Изобретение относится к вауумной технике, а именно к конструкциям тур- бомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения - улучшение от- качных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - крышка ротора, вид сверху.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, закрепленный на внутренней поверхности корпуса 1 статор 3 и установленный по оси корпуса 1 полый ротор 4 с верхней крышкой 5, которая со стороны входного патрубка 2 имеет коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами 6 с увеличивающейся в направлении периферии высотой, причем верхние торцы ребер 6 имеют максимальную высоту, превышающую расстояние между ними по внешней окружности крышки 5. Входной патрубок 2 выполнен в виде усеченного конуса с углом наклона образующей к оси корпуса 1 не менее 45°, верхним малым основанием, расположенным в плоскости торцов радиальных ребер 6 и высотой, равной максимальной высоте последних.

Насос работает следующим образом. После создания предварительного разрежения в корпусе 1 насоса ротор 4 раскручивается до номинальных оборотов. Молекулы газа, попадающие в корпус 1 насоса через входной патрубок 2 и взаимодействующие с лопатками ротора 4 и статора 3, получают импульс в направлении откачки и переносятся со стороны всасывания насоса на сторону нагнетания. Молекулы, попадающие на крышку 5 ротора 4 в

пространство между радиальными ребрами, благодаря конфигурации внешней поверхности крышки 5 отражаются преимущественно в направлении боковой

стенки входного патрубка 2. Поскольку эта поверхность является конической, то отражение молекул от нее происходит преимущественно в направлении проточной части насоса. В ре-

зультате увеличивается вероятность откачки молекул газа, попадающих на вход насоса, т.е. улучшаются откач- ные характеристики насоса.

5 Формула изобретения

0 поверхности корпуса статор и установленный по оси корпуса полый ротор с верхней крышкой, отличающий- с я тем, что, с целью улучшения от- качных характеристик, крышка со сто5 роны входного патрубка имеет коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами с увеличивающейся в направлении периферии высотой, причем верхние

0 торцы ребер расположены в одной плоскости и ребра имеют максимальную высоту, превышающую расстояние между ними по внешней окружности крышки.

выполнен в виде усеченного конуса с углом наклона образующей к оси корпуса не менее 45°, верхним малым основанием, расположенным в плоскости 40 торцов радиальных ребер, и высотой, равной максимальной высоте последних.

Фиг. 2