Сорбционный вакуумный насос Советский патент 1988 года по МПК F04B37/02 

jssssaa

- КДГКЭ

OD

Фиг.1

Изобретение относится к вакуумной технике 3 а именно к конструкциям сорб ционных вакуумных Hacdcos,

Цель изобрете-ния - улучшение от- качных характеристик насосов.

На фиг, 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез . А-А на фиг. 1.

Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 25 размещенные в корпусе 1 кольцевой охлаждаемый сосуд, слой 3 адсорбента- и расположенный по оси корпуса 1 ис- паритель 4 геттера, причем сосуд вы полнен в виде верхнего 5 и нижнего 6 кольцевых коллекторов, сообщенных между собой при помощи параллельных трубок 7, расположенных в слое 3 адсорбента, а.последний размещен маяду коллек,торами 5 и 6.

Насос работает следующим образом.

В коллекторы 5 и 6 подается хладагент, который заполняет параллельные трубки 7 J, расположенные в слое 3 адсорбента, что обеспечивает интенсивное охлаждение адсорбента вследствие развитой поверхности теплообме на. Слой 3 адсорбента при понижении температуры последнего начинает тенсивно поглощать откачиваемый газ поступающий в корпус 1 насоса через входной патрубок 2. Предельное остаточное давление определяется темпе- ратурой хладагента и в случав использования жидкого азота с температурой около 80К состав остаточной атмосферы определяется плохо адсорбируемыми газами, в первую очередь водоро-

дом, являющим1ся основным компойентом газовыделения конструкционных материалов вакуумных систем, С целью откачки плохо адсорбируемых газов на уровне остаточного давления порядка 10 Па включается испаритель 4 геттера. Испаряющийся геттер (например, титан) осаждается на -внутреннюю поверхность слоя 3 адсорбента и активно поглощает плохо адсорбируег&те газы, причем ахтивньгй слой геттера постоянно возобновляется. Развитая поверх- ность адсорбента способствует высоКИМ скоростным характеристикам, по япохо адсорбируемым газам.

Таким образом, конструкция предла гаемого насоса улучщает его откачные характеристики, в частности величину предельного остаточного давления и быстроту действия по плохо адсорбиру- емьм газам.

Формула изобретения

Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус с входньп патрубком, размещенные в корпусе кольцевой ох- лаждаемьй сосуд, слой адсорбента и расположенный по оси корпуса испаритель геттера, отличающий- с я тем, что, с целью улучшения от- качных характеристик, сосуд выполнен в вщ|;е верхнего и нижнего кольцевых коллекторов, сообщенных между собой при помощи параллельных трубок, расположенных в слое адсорбента, а последний: размещен между коллектора . ми.

. ; -- @t-- O:.. @..-.-:@f:4 : @.: :.@.°.-:

. /й. - . . ..vP-... : (Pf { @-: .V

.y. . ;yt/... . ;Vr .- V - .Vv. . У - .y -..

Фаг.