Сканирующее устройство Советский патент 1988 года по МПК G02B26/10 

10

j

OS О

сл

Изобретение относится к приборостроению и предназназначено для использования в измерительных системах. Сканирующее устройство содержит 6 7 I/ диэлектрическую пластину 6, в которой методом травления сформирован подвижньш элемент 7 с зеркальным отражающим покрытием 10 на верхнем основании, на нижнем его основании выполнено магнитное покрытие , подвижный элемент 7 установлен на торсионах 8. При взаимодействии противоположно направленных полей с магнитным покрытием п одвижного элемента 7 появляется крутящий .момент, благодаря ко- торому подвижный элемент на торсионах 8 отклоняется от своего начального положения, чем достигается увели- , чение верхней граничной частоты кос лебаний и уменьшение габаритов под- S вижного элемента при сохранении по- I лезной площади зеркального отражающе- го покрытия. 4 ил. (Л С

ai

А

00

Изобретение относится к приборостроению, а именно к сканаторам оптического излучения, и предназначено для использования в измерительных системах.

Цель изобретения - з величение верхней граничной частоты колебаний и уменьшение габаритов подвижного элемента при сохранении полезной шю- ш.ади зеркального отражающего покрытия,

На фиг,1 изображено диэлектрическое основание J вид сверку| на сечение А-А на фиг«1| на фиг.-З ди- электрическая пластинаг , вид сверху; на фиг.4 - сечение Б-Б на фиг.З, Сканирующее устройство содер™

жит диэлектрическое основание 1 с опорными ребрами 2, на котором

методом вакуз много напыления с последующим электрохш- ическим осаж дением выполнены плоские нноговитко- вые катушки. 3 индуктивностид -соединенные встречно между собой при. по,мощи проводника 4 К контактным щадкам 5 проводника подсрёдй няетея источник питания переменной частоты, (.не показан) ,

Диэлектрическая пластина включает пластину 6j установленную на опорных ребрах 2 диэлектрического основания 15 в котором методом травления сфорПри приложении переменного тока к контактным площадкам 5 в плоских мно говитковых катушках 3 индуктивности с создается магнитное поле перпендику- лярно к их плоскости, однако из-за встречного включения катушек магнитные поля имеют противоположные нап- равления. При взаимодействии проти- IQ воположноjГнаправленных полей с маг- „ нитным покрытием 9 подвижного элемен та 7 появляется крутящий момент, бла годаря которому подвижный элемент 7 на торсионах 8 отклоняется от своего J5 начального положения.

Формула изобретения

Сканирующее устройство, содержа-.

20 Щее диэлектрическое основание, на рабрах которого з становлена диэлектрическая пластина, в которой методом травления сформирован подвижный элемент с-зеркальным отражающим пок25 рытием на верхнем ос.новании и с закрепленной на нижнем его основании плоской многовитковой катушкой индуктивности, при этом подвижньш элемент установлен на торсионах, о т л и 30 чающееся тем, что с целью увеличения верхней граничной частоты колебаний и уменьшения габаритов подвижного элемента при сохранении полезной площади зеркального отрамирован подвижньш элемент 7 с торсио-дз покрытия, плоские многовитковые катушки индуктивности выполнены на диэлектрическом основании и имеют между-собой встречное включение, а на нижнем основании подвижного элемента с зеркальным отражающим покрытием нанесено магнитное покрытие.

нами о, на нияснем основании которого нанесено магнитное покрытие 9, а на верхнем основании зеркальное отражающее покрытие 10,

Сканирующее устройство работает следующим образом.

При приложении переменного тока к контактным площадкам 5 в плоских мно- говитковых катушках 3 индуктивности создается магнитное поле перпендику- лярно к их плоскости, однако из-за встречного включения катушек магнитные поля имеют противоположные нап- . равления. При взаимодействии проти- воположноjГнаправленных полей с маг- нитным покрытием 9 подвижного элемен- - та 7 появляется крутящий момент, благодаря которому подвижный элемент 7 на торсионах 8 отклоняется от своего начального положения.

Формула изобретения

Сканирующее устройство, содержа-.

Щее диэлектрическое основание, на рабрах которого з становлена диэлектрическая пластина, в которой методом травления сформирован подвижный элемент с-зеркальным отражающим покрытием на верхнем ос.новании и с закрепленной на нижнем его основании плоской многовитковой катушкой индуктивности, при этом подвижньш элемент установлен на торсионах, о т л и чающееся тем, что с целью увеличения верхней граничной частоты колебаний и уменьшения габаритов подвижного элемента при сохранении полезной площади зеркального отра « Чего покрытия, плоские многовит

ковые катушки индуктивности выполнены на диэлектрическом основании и имеют между-собой встречное включение, а на нижнем основании подвижно. го элемента с зеркальным отражающим покрытием нанесено магнитное покрытие.

3

v/m

I

/

// /,

V//7/7//

-3

3

«А/г. /

±1 / / /

I fI I I r I mI I /I

/7/777/777/7777/

/

.2