Способ градуировки вакуумметров Советский патент 1982 года по МПК G01L27/00 

(54) СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ ВАКУУММЕТРОВ

Изобретение относится к приборостроению, в частности к устройствам для градуировки вакуумметров. Известны способы градуировки вакуумметров путем повышения давления в первой камере с градуируемым вакуумметром, происходящего при непрерывной подаче известного потока газа в эту камеру из второй камеры с образцовым манометром и определения давлений, соответствующих зафиксированным в некоторые моменты времени показаниям градуируемого вакуумметра 1. Данные способы не обеспечивают градуировки вакуумметров в широком диапазоне давлений. Наиболее близким к предлагаемому способу по технической сущности и достигаемому эффекту является способ градуировки вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям 2. Известный способ также не обеспечивает градуировку вакуумметров в широком диапазоне изменений давления. Цель изобретения - расширение диапазона градуировки. Поставленная цель достигается тем, что при градуировке вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем судят по идентичности показаний манометра сравнения. На чертеже показана вакуумная система, реализующая предлагаемый способ градуировки вакуумметров. Система содержит градуируемый вакуумметр 1, присоединенный к градуировочной камере 2. Камера откачивается через диафрагму 3 известной проводимости О высоковакуумным насосом 4. Через входной элемент 5 (натекатель, диафрагму, трубку и т. п.) в градуировочную камеру подают измеряемый поток Q градуировочного газа. Клапан 6 служит для перекрытия входного элемента 5. Через регулируемый натекатель 7 в камеру подают дополнительный .поток газа. К камере 2 присоединен также манометр сравнения 8. Предлагаемый способ градуировки вакуумметров состоит из следующей последовательности операции. После предварительной откачки камеры 2 в нее подают через входной элемент 5 измеряемый поток QI газа (например, наибольший поток, при котором еще соблюдается молекулярный режим течения), при этом клапан 6 открыт. Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставляют с ним соответствующее значение давления Pj в градуировочной камере 2, рассчитанное по формуле (1). Одновременно фиксируют показание манометра сравнения Ii. Закрыв клапан 6, подают извне в камеру 2 дополнительный поток, равный измеренному потоку Q. Открыв клапан 6, удваивают поток газа в камеру, т. е. р2 2Qi. Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставляют с ним соответствующее значение давления РЗ в градуировочной камере, рассчитанное по формуле P2 .Одновременно фиксируют показание манометра сравнения 12Прекратив подачу дополнительного потока, регулируют поток газа через входной элемент 5 так, чтобы показание манометра сравнения вновь было равно 1. Циклически удваивая поток газа, повторяют операции 2 и 6. Предлагается также при выполнении операции 3 регулировать дополнительный поток так, чтобы показание манометра сравнения вновь было равно Ii- Это свидетельствует о том, что дополнительный поток равен измеренному потоку Qj. Предлагается также подавать в камеру 2 дополнительный поток через регулируемый натекатель 7. Тогда операции 3 и 6 выполняют посредством открытия и закрытия натекателя 7. Таким образом, в камере 2 воспроизводится последовательный ряд давлений Гр eti м-и Рг 2Р р 2Р2 4Р . р 2Рз. 8Р JJPj 2- -Р l;Ph .V , Наиболее важно, что расчет давлений PJ совершенно не обусловлен режимом течения во входном элементе системы, последний может и не быть молекулярным. Тогда верхний предел давлений зависит лишь от возможностей высокопроизводительной откачки камеры 2 насосом 4. Таким образом, измерив однократно в начале градуировки сравнительно малый поток QI , можно при определенном числе h описанных циклов регулирования потока воспроизвести и рассчитать достаточно большие потоки Qj 2-Qi и соответственно сравнительно высокие давления Pj PI, при которых не соблюдается молекулярный режим течения газа в системе. Ядро методики градуировки составляет циклическое регулирование потоков газа через входной элемент и натекатель и регистрация показаний градуируемого вакуумметра 1 и манометра сравнения 8. Устранение ограничений, накладываемых на режим течения, обеспечивает возможность заметного расширения диапазона градуировки в сторону высоких давлений. Формула изобретения Способ градуировки вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона градуировки, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем судят по идентичности показаний манометра сравнения. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 767592, кл. G 01 L 27/00, 1978. 2.Авторское свидетельство СССР № 408183, кл. G 01 L 27/00, 1971 (прототип).

Газ

К насосу