Способ градуировки вакуумметров Советский патент 1987 года по МПК G01L27/00 

11

Изобретение относится к вакуумному приборостроению, в частности к образцовым вакуумметрическим установкам, иcпoльзye ым для градуировки вакуумметров,

Целью изобретения является уменьшение погрешности градуировки вакуумметров,

На чертеже показана схема вакуумной установки, реализующей способ градуировки вакуумметров.

Установка содержит градуируемый вакуумметр 1, присоединенный к гра- дуировочной камере 2, которая откачивается через диафрагму 3 известной проводимости и высоковакуумным насосом 4, Через диафрагмы 5 и 6 известной проводимости и и Ujj соответственно в градуировочную камеру 2 из камеры 7 высокого давления пода- ют основной поток газа. Клапан 8 служит для перекрытия диафрагмы 5. Через регулируемый натекатель 9 в градуировочную камеру 2 из камеры 7 высокого давления подают дополнительный поток газа, К камере 2 присоединен манометр 10 сравнения, а к камере 7 - манометр 1I высокого давления.

Способ градуировки вакуумметров осуществляют следующим образом.

После предварительной откачки градуировочной камеры 2 в нее из камеры 7 высокого давления через диафрагмы 5 и 6 подают поток Q газа, При этом клапан 8 находится в открытом положении, а натекатель 9 - в закрытом.

Отсчитывают показания градуируемого вакуумметра I и сопоставляют с ними соответствующее значение давления Р в градуировочной камере 2, рассчитанное по уравнению

2х Р, ,

и °

Uo-iUt

где .- показание манометра 11 высокого давления, соответствующее потоку Q,

Одновременно фиксируют показание манометра 10 сравнения (для потока Q это показание обозначим 1 ),

Закрыв клапан 8, подают в градуировочную камеру 2 через натекатель 9 дополнительный поток, равный потоку, проходивщему ранее через диафрагму 5, закрытую затем клапаном 8, Равенство, потоков до и после закрытия клапана 8 устанавливают nq равенст

5

0

152

ву показаний манометра 10 до и по сле закрытия клапана 8 соответственно. Открыв клапан 8, увеличивают по ток газа в градуировочную камеру до величины

Q, о, и„ +20). (2)

Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра I и сопоставляют с ним соответствующее давление Р ,в градуировочной камере 2, рассчитанное по формуле:

Р QI р

и I и

Одновременно фиксируют показание I манометра 10 сравнения, Прекратив подачу дополнительного потока через натекатель 9 (т.е, закрыв этот натекатель), путем повышения давления в камере 7 высокого давления до величины Р регулируют поток газа через диафрагмы 5 и 6 так, чтобы показание манометра сравнения вновь было равно I. ,

Закрыв клапан 8, подают в градуировочную камеру 2 через натекатель 9 ;5о пол ни тельный поток, равный пото- : ку, проходивщвму На предыдущем этй- пе через диафрагму 5, Вновь открыв клапан 8, увеличивают поток газа в градуировочную камеру до величины

Q.P..(UO 2U ),

(4)

40

45

Этот поток газа создает в градуировочной камере 2 давление

Po5(o +2U)/U, (5) Давление связано с первона02

чал ьным давлением Р в камере высокого давления соотношением:

POI (, )Р,,( ). Следовательно, давление

Р Q - р (Ual2Uii) 2 и «1 и(и„+и,)

(6)

(7)

Таким образом,- в градуировочной камере 2 последовательно воспроизводится ряд давлений, используемый для проведения единичных измерений

и

01

Р Р () 2/ 01 u(Uo,+U,)

(8)

(Уо+2и) ° и(Ц,+Ц, )

Чтобы в каждом порядке измеряемь1х давлений было проведено в процессе градуировки не менее k единичных измерений, необходимо выполнить условие (k . 4) :

f- 10. , 1

(9)

..L......Ll.l

, 0,285 0,709 1,14 1,57 2,00 2,43 2,86 3,

Поскольку постоянная и дискретно подаваемые части основного потока газа, подаваемые из камеры 7 высокого давления в градуировочную камеру 2, пропорциональны величинам про- водимостей диафрагм 5 и 6, то уравнение (10) описывает также и требуемое соотношение между постоянной Q и дискретно подаваемой Q частями основного потока

9а Q

2 -

8 - I

(I1-)

Таким образом, взяв необходимые соотношения проводимостей диафрагм 5 и 6, можно обеспечить практически любое число единичных измерений в каждом порядке, что обеспечит уменьшение погрешности градуировки вакуумметров.

Формула изобретения

Способ градуировки вакуумметров, заключающийся в подаче в градуировочную камеру изменяемых основного

Отсюда получим соотношение между проводимостями диафрагм 5 и 6 при

Л: „ 2 - Ы, ,

(10)

и.

и

к. I, -

N10-1

В таблице приведена зависимость отношения DO /и для 4 : k s 1 I .

11

29

0

5

0

5

0

и дополнительного потоков газа, многократном уравнивании этих пото-, ков для проведения единичных и::ме- рений, фиксировании давлений в камере при этих операциях и расчете точных значений давлений в камере по известнь1м зависимостям, отличающий ся тем, что, с целью уменьшения погрешности градуировки, часть основного потока, подаваемого в градуировочную камеру, подают постоянно при проведении единичного измерения, а часть - дискретно, при этом отношение подаваемой постоянно части потока Q и подаваемой дискретно части потока Q удовлетворяет соотношению

, (2 - )Л/ГО - 1),

где k - число единичных измерений

в диапазоне измеряемых давлений, равном десятичному порядку (k :j 4),

а уравнивание дополнительного потока проводят с подаваемой дискретно частью основного потока.

Изобретение относится к вакуумному приборостроению и позволяет уменьшить погрешность градуировки вакуумметров. Подают из камеры 7 высокого давления через диафрагмы 5 и 6 поток газа в градуировочную камеру 2 и давление в ней сравнивают с показаниями градуируемого вакуумметра 1, Через натекатель 9 подают в камеру 2 дополнительный поток и, oTKptjiB клапан 8, увеличивают поток газа в нее, снимая при этом показания градуируемого вакуумметра 1. Повыгаая давление в камере 7, перекрывают поступление дополнительного потока и регулируют поток газа через диафрагмы 5 и 6 до первоначальных показаний манометра 10. Повторением операций осуществляют последовательное воспроизведение в камере 2 ряда давлений, используемых для проведения единичных измерений. Постоянно и дискретно подаваемые части потоков удовлетворяют определенному соотношению, 1 ил., 1 табл. i (Л