Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1988 года по МПК F04D19/04 

(Л

сх

1ж;жш

X

7

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения - повышение надежности и степени сжатия насоса.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 со статорными дисками 2 и размещенный в нем на магнитной подвеске 3 ротор 4 с рабочими дисками 5. Ротор 4 снабжен пакетом 6 дисков, аналогичных рабочим дискам 5, установленным в центре инерции potopa 4, рабочие диски 5 расположены сим- мет-рично относительно пакета 6, а число дисков в пакете 6 определяется выражением

.24()t &

где h - длина ротора 4;

г - радиус дисков 5 ротора 4;

k - число рабочих дисков 5.

Насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ, поступающий в корпус 1 насоса из откачиваемого объема, перемещается со стороны всасывания на сторону нагнетания вследствие взаимодействия с поверхностью быстровращающихся рабочих дисков 5 ротора 4 и спиральных пазов ста

торных дисков 2. Наличие пакета 6 дисков обеспечивает повышенную устойчивость ротора 4, что позволяет увеличить длину ротора 4 (h), а следовательно, число рабочих дисков 5. В результате кроме повышения надежности конструкции возрастает степень сжатия насоса, т. е. предельный вакуум, который может быть достигнут насосом при определенном уровне давления нагнетания.

Формула изобретения

Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со статорными дисками и размещенный в нем на магнитной подвеске ротор с рабочими дисками, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и степени сжатия, ротор снабжен пакетом дисков, аналогичных рабочим дискам, установленным в центре инерции ротора, рабочие диски расположены симметрично относительно пакета, а число дисков в пакете определяется выражением

(i)

где Л - длина ротора;

г - радиус дисков ротора; k - число рабочих дисков.

Изобретение позволяет повысить надеж- иость и степень сжатия насоса. Б корпусе 1 со статорными дисками (Д) 2 размещен на магнитной подвеске 3 ротор 4 с рабочими Д 5. Ротор 4 снабжен пакетом 6 Д, аналогичных Д 5. Пакет 6 установлен в центре инерции ротора 4. Д 5 расположены симметрично относительно пакета 6. Число Д в пакете 6 определяется исходя из длины ротора 4, радиуса Д 5 и их числа. 1 ил.