Способ диффузионной сварки материалов Советский патент 1989 года по МПК B23K20/14 

1

Изобретение относится к сварке давлением с подогревом, в частности к диффузионной сварке, и могет быть использовано в электронной, электротехнической, авиационной, радиотех- 5 ниче ской и других отраслях промышленности.

иель изобретения - повьшение прочности сварного соединения.

.Способ осуществляют следующим об- Ю разом.

Свариваемые детали из полупроводника или металла и стекла нагревают до температуры сварки, прикладывают к ним постоянное напряжение для со- 5 здания ионного тока диффузии между соединяемыми поверхностями-, сдавливают их циклически в течение времени образования на полупроводнике или металле окисной пленки толщиной 100- 20

а

1000 А, благодаря чему обеспечивается повышение прочности сварного соединения. При толщине окисной пленки

7 1000 А повышается ее хрупкость, а при толщине .00 А не обеспечивается плавность перехода полупроводник - стекло и не предотвращается диффузия кислорода из стекла в полупроводник. Пример, Сваривали монокристаллический кремний толщиной 0,2 мм и диаметром 8 мм с исходной окисной пленкой толщиной 40 с трубкой из стекла Пирекс длиной 10 мм, диаметром наружным 8 мм и внутренним 6 мм.

На следующем режиме температура сварки Т 700 К, усилие сжатия: постоянное Р 10 МПа, циклическое ,РU, - .3,0 МПа; постоянное напряжение

1

Од

N

3 145.4614

и 800 В, минимальный ток ионнойФормула изобретения

1„ л 140 мкА, период циклаСпособ

нагружения 40 с, количество цикловалов по авт. св. V 1276467, о т л и

п 40. Длительность сварки 28 мин,ч а ю щ .и и с я тем, что, с целью

что соответствовало окис-повьппения прочности сварного соедикой пленки толщиной 500 А. Посленения полупроводников или металлов

сварки детали охлаждали и подвергалисо стеклом, процесс ведут в течение

испытаниям, которые показали повьше-времени, соответствующего образова е прогости сварного соедине-ю ник на свариваемой поверхности полуние прочности ипроводника или металла окисной плен ки толщиной 100-1000 А.

Изобретение относится к сварке давлением с подогревом, в частности к диффузионной сварке, и может быть использовано в электронной, электротехнической, авиационной, радиотехнической и других отраслях промышленности. Цель изобретения - повыше- .чие прочности сварного соединения. Свариваемые детали из полупроводника или металла и стекла нагревают до температуры сварки. Прикладывают к ним постоянное напряжение для создания ионного тока диффузии между соединяемыми поверхностями, сдавливая детали циклически в течение времени образования на полупроводнике или металле окисной пленки толщиной 100-1000 А.