Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей Советский патент 1989 года по МПК G01B11/255 

тину 4 жестко соединяют между собой, 30 ся перемещением его вместе с плоско

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле высокоточных оптических деталей, например пробньлс стекол. Цель изобретения - повьшение точности контроля за счет обеспечения точной фокусировки автоколлимационного микроскопа на центр кривизны контролируемой поверхности. Последовательно фокусируют автоколлимационный микроскоп 1 на центр кривизны контролируемой поверхности 2 и на саму поверхность. Перед фокусировкой на центр кривизны контролируемой no-i верхности 2 между объективом автоколлимационного микроскопа 1 и контролируемой поверхностью 2 устанавливают плоскопараллельную пластину 4, на обращенную к контролируемой поверхности 2 сторону которой нанесено.све- тоделительное покрытие. Автоколлима - ционный микроскоп 1 фокусирует на светоделительное покрытие плоскопараллельной пластины 2, жестко соединяют между собой автоколлимационный микроскоп 1 и светоделительную пластину 4, а половину апертуры объектива автоколлимационного микроскопа 1 перекрывают непрозрачным экраном 6. При фокусировке на контролируемую поверхность 2 экран 6 убирают, а плоскопараллельную пластину 2 смещают по направлению к объективу микроскопа I или выводят из хода лучей. 1 ил. « (Л

а половину апертуры объектива автоколлимационного микроскопа 1 перекрывают непрозрачным экраном 6.

Автоколлимационный микроскоп 1, перемещая его вместе с плоскопараллельной пластиной 4 и экраном 6, фокусируют на центр кривизны контролируемой поверхности 2, Затем авто коллимационный микроскоп 1 фокусируют на контролируемую поверхность 2 (положение автоколлимационного микроскопа показано пунктирными линиями) и измеряют расстояние между двумя положениями .автоколлимационного микроскопа 1. По измеренному расстоянию между двумя положениями автоколлимационного микроскопа 1 определяют радиус кривизны контролируемой поверхности 2. При фокусировке автоколлимационного микроскопа.1 на контролируемую поверхность 2 экран 6 убирают, а плоскопараллельную пластину 4 смещают по направлению к автоколлимационному микроскопу 1 : или выводят из хода лучей.Если плоскопараллельная пластина 4 остается в ходе лучей, то радиус кривизны контролируемой поверхности 2 равен расстоянию между двумя поло5

0

5

0

5

параллельной пластиной 4 вдоль оптической оси. При смещении фокальной плоскости автоколлимационного микроскопа 1 относительно центра кривизны контролируемой поверхности 2 на величину ). наблюдаемые в автоколлимационный микроскоп 1 изображения смещаются относительно его фокальной плоскости на величину 2 пД и, еле- : довательно, повьшаются точность фоку сировки и точность контроля. Формула изобретения

Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей, заключающийся в том, что перемещают автоколлимационный микроскоп вдоль его оптической оси до последовательной фокусировки сначала на центр кривизны контролируемой поверхности, а затем на контролируемую поверхность, и измеряют величину перемещения автоколлимациойного микроскопа, по которой определяют радиус кривизны, о тличающийся тем, что, с целью повьппения тхгчности контроля, перед фокусировкой на центр кривизны контролируемой поверхности устанавливают между объективом ав1460600

-.„--zrr.T

1460600