Способ приготовления образцов пленок, нанесенных на поверхность кремниевой подложки,для электронно-микроскопических исследований Советский патент 1989 года по МПК G01N1/28 G01N23/225 

I

Изобретение относится к техноло- гии приготовления тонкопленочных образцов для электронно-микроскопи- ческих исследований, в частности, образцов пленок, напыленных на кремниевую подложку.

Цель изобретения - упрощение, и снижение трудоемкости процесса приготовления образцов за счет сокращения продолжительности процесса и исключения специального оборудования.

Сущность способа заключается в том, что исходный объект с пленкой на его поверхности обрабатывают раствором щелочи. Обработку проводят.

погружая весь объект в 30-50%-ный раствор щелочи при 30-80°С и вьщер- живают до попного отделения пленки.

При взаимодействии щелочи с кремнием -вьщеляется водород. Вьщеление водорода на границе раздела кримние- вая подложка - напыленная пленка приводит к отделению пленки.

Экспериментально установлено, что при концентрации щелочи менее . 30% площадь отделяющихся участков пленки составляет менее 3 мм, что затрудняет процесс закрепления образцов. Оптимальная концентрация щелочи, 30-50% (50%-ный раствор при

4 05 СЛ

ч1

со

QD

1465739

J X

ки вы и г ки

комнатной температуре является насыщенным) .

При температуре раствора менее увеличивается продолжительность процесса, а использование раствора с температурой более приводит к р|1створению.самой отделяемой пленки.

В таблице приведены результаты р гализации способа приготовления

оЗразцов при различньк параметрах проведения процесса.

Пример. Проводят отделени| ппенки ниобия (Nb) толпщной 1000 А, напыленной на кремниевую подложку (100) в 45%-ном растворе КОН при 65°С. Время отделения пленки составляет около 5 мин при скорости раст- Еорения самой пленки /-60-70 А/мин. Госле отделения с помощью специаль- ной сетки кусочки пленки помещают в дистиллированную воду. Свертывания Геленки не наблюдается. После промьш9

J X

ки в дистшглированной воде пленку вылавливают на предметную сеточку и высушивают, после чего образец готов для электронно-микроскопических исследований.

Формула-изобретения

Способ приготовления образцов пленок, нанесенных на поверхность кремниевой подложки, для электронно- микроскопических исследований, вклю- чающий отделение пленки от подложки путем обработки исходного объекта раствором щелочи и размещение ренки на предметной сетке, о т л и ч а щ и и с я тем, что, с целью упрощения и снижения трудоемкости процесса приготовления, обработку исходног объекта осуществляют путем его погружения в 30-50%-ный раствор щепочи и выдержки при ЗО-бО С до полно -о отделения пленки.

Изобретение относится к технике приготовления образцов тонких пленок для электронно-микроскопических исследований, в частности пленок, напыленных на кремниевую подложку. Целью изобретения является упрощение и снижение трудоемкости процесса приготовления образцов. Дпя отделения пленки от кремниевой подложки исход- ньй объект погружают в 30-50%-ный раствор щелочи при 30-80 С и задерживают до полного отделения пленки, которому способствует вьщеление водорода на границе раздела подложка-- пленка. Весь процесс занимает не более 1 ч и не требует.специального оборудования. 1 табл. с /)