Печи к аппаратам для вырашивакия монокристаллов тугоплавких веществ из порошка в токе горячего газа, содержащие муфель с теплоизоляционной обмазкой, верхнюю и нижнюю крышки наружного цилиндра с приспособлениями для крепления к общей станине и для наблюдения за процессом кристаллизации, известны.
Предлагаемая печь в отличие от известных выполнена с кольцевой камерой, образованной между муфелем и наружным цилиндром и снизу ограниченной фигурным кольцом, а сверху крышкой. Такая конструкция печи позволяет улучшить тепловой режим работы печи и создать дополнительный тепловой барьер.
На чертеже изображена схема предлагаемой печи в разрезе.
В муфеле / происходит сгорание водородо-кислородной смеси, поступающей из сопла горелки 2. Кольцевая камера образуется между муфелем / с теплоизоляционной обмазкой 3, наружным цилиндром 4 и снизу ограничена фигурным кольцом 5, а сверху крышкой 6. Через отверстия в фигурном кольце 5 горячие газы и избыточный водород, необходимый по технологии выращивания монокристаллов, поступают в кольцевую камеру. Отверстия в днище 7 служат для подсоса воздуха, необходимого для сгорания избыточного водорода. Вверху над камерой находится кольцевой сборник 8 для отработанных газов. Снизу печь имеет шлюз, закрывающийся съемной втулкой 9.
Таким образом, при выращивании монокристаллов в предлагаемой печи в кольцевой камере образуется тепловой барьер, препятствующий отдаче тепла от муфеля / печи в окружающую среду.
Предлагаемая конструкция печи более инерционна по сравнению с известными и снижает температурные градиенты в объеме печного пространства за счет лучшего аккумулирования горячих газов, позволяя
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Способ выращивания кристаллов методом Вернейля и установка для его осуществления | 1990 |
|
SU1820925A3 |
Реактор с кипящим слоем катализатора | 1968 |
|
SU272956A1 |
Трубчатая электропечь | 1986 |
|
SU1325274A1 |
Способ получения монокристаллического SiC | 2021 |
|
RU2761199C1 |
Способ формирования температурного градиента в тепловом узле печи для выращивания фторидных кристаллов и устройство для его осуществления | 2021 |
|
RU2765962C1 |
СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ ИЗ РАСПЛАВА | 2018 |
|
RU2663130C1 |
ДВУХВАННАЯ ОТРАЖАТЕЛЬНАЯ ПЕЧЬ ДЛЯ ПЕРЕПЛАВА АЛЮМИНИЕВОГО ЛОМА | 2015 |
|
RU2610641C1 |
ПЕЧЬ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ КАРБИДА КРЕМНИЯ | 2006 |
|
RU2330128C2 |
Стенд колпаковой печи для отжигаРулОНОВ | 1979 |
|
SU846586A1 |
СПОСОБ ПРЯМОГО ПОЛУЧЕНИЯ ЖЕЛЕЗА В МНОГОПОДОВОЙ ПЕЧИ | 1998 |
|
RU2205229C2 |
Авторы
Даты
1962-01-01—Публикация
1961-08-07—Подача