Способ интерференционного контроля формы оптических изделий Советский патент 1989 года по МПК G01M11/00 G01B9/02 

Изобретение относится к прикладной оптике и может быть использовано преимущественно при контроле качества поверх чости оптических элементов и систем

Цеть изобретения - повышение точности контроля

На чертеже показано устройство для реализации предла аемого способа

Устройство состоит и источника 1 све та, коллиматора образованного двумя объективами 2 и 3 и диафрашой 4, светоделителя 5, объектива 6, объекта 7 контроля, привода 8 эталонного зеркала 9, сканирую щего Аотодетектора 10 и анализатора 11

Устройство работает стедующим обра зом

Волна света из источника 1 приобретает плоский волновой фоонт и равномерное рас- аределение интенсивной в колтиматоре и поступает на светоделитель 5 Затем свет идет по двум каналам По объектному каналу свет проходит через объектив 6 и отражается от контроти пе чои i -, тем, вновь пройдя свею in ib i i u n,jei в плоскость регистрация i it (аьовкн сканир ющий фотодетектор 10 По оно нспг канатх свет .доходит отраж ч i L г jiaioi ного зеркала 9, в оьь прохо in LLU IP тель 5, совмещается со сье ON 11 объект ного канала в плоскости ptriK i ),. ции i n образуется выборочная ишерферогра ia Интерферограмма реги(. щим фотодетектором 10 и которою о и в виде электрического CHI на та з ана лизатор 11, |де реализуется один из ш вестных алгоритмов анализа интерферо грамм После анализа каждой из ингер ферограмм серии анализатор 11 вырабаты вает сигнал, поступающий на приво 8 эталонного зеркала, который изменяет гот наклона эталонного зеркала 9 относительно оптической оси При этом образуется новая интерферограмма которая вновь тетек тируется блоком 10 и обрабатывается б то

00

СО

оэ

ком 11. Из каждой К-й интерферограммы серии в блоке 11 восстанавливается волновой фронт ф(Х,У). Затем волновые фронты суммируются и находится взвешенное среднее

ер(Х,У)- JU cpt(X,Y),

где afe- весовые коэффициенты (в простейшем случае ).

Величина ср(Х, Y) полностью характеризует качество поверхности объекта 7 контроля. В качестве показателей качества используют предусмотренные ОСТ 3-5467-83 величины

)(1х dy, макс|ф(Х,У)|,

где i;- область, занимаемая интерферограм

мой.

Предлагаемый способ обеспечивает генерацию выборочного ансамбля интерферо- грамм, который после восстановления преобразуется в выборочный ансамбль волновых фронтов (ф(Х,У)}, имеющих статистически независимые искажения в силу некоррелированности шума на различных пространственных частотах.

Формула изобретения

Способ интерференционного контроля формы оптических изделий, состоящий в регистрации серии интерферограмм с помощью объектного И опорного пучков света при фиксированном положении контролируемого изделия, определении волнового фронта по каждой интерферограмме, определении среднего волнового фронта путем усреднения волновых фронтов по реализациям и контроле по нему качества формы оптических изделий, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, серию интерферограмм регистрируют с различным числом интерференционных полос и различной их ориентацией путем изменения уг,э мех:- ду оптическими осями опорного и объектного пучков света.

Изобретение относится к прикладной оптике и может быть использовано преимущественно при контроле качества поверхности оптических элементов и систем. Способ основан на регистрации интерферограмм с помощью объектного и опорного пучков света при фиксированном положении контролируемого изделия. По интерферограммам определяют волновой фронт, по которому судят о качестве контролируемого изделия. С целью повышения точности контроля путем повышения отношения сигнал/шум изменяют угол между оптическими осями опорного и объектного пучков света так, что образуется серия интерферограмм, отличающихся одна от другой числом и ориентацией интерференционных полос. Восстановленные из интерферограмм волновые фронты усредняют и определяют средний волновой фронт, по которому судят о качестве контролируемого оптического изделия. 1 ил.