Интерферометрический способ контроля качества оптических поверхностей Советский патент 1987 года по МПК G01B9/00 

Изобретение относится к измерительой технике и может быть использовао для контроля качества оптических оверхностей.

Цель изобретения - повышение точости контроля путем отделения шума т полезного сигнала в интерферограм- е.

На чертеже изображено устройство ля осуществления предлагаемого способа.

Способ осуществляют следующим образом.

Входной пучок 1 света поступает в призму 2 Дове, которая вращается и вращает проходящий через нее пучок света. Далее последний расширяется эспандером 3, 4, делится на два пучка, один из которых, опорный, проходит эталонный объектив 5 и фокусируется на зеркале 6, повернутое на угол 9 относительно оси падающего на него пучка. Отражаясь от зеркала 6, опорный пучок вновь проходит объектив 5 и светоделитель 7. Объектньш пучок образуется делением входного пучка светоделителем 7. Этот пучок проходит компенсирующий объектив 8, , отражается от контролируемого зеркала 9; ВНОВЬ проходит через объектив 8 и, отражаясь от светоделителя 7, Попадает в плоскость 10 регистрации и интерферирует с опорным пучком,

Выбором фокусного расстояния объектива 5 и угла 6 достигают : совмещений осей вращения объектного И опорного пучков с центром интерфе- рограммы в плоскости 10 регистрации.

Плоскость 10 регистрации сканируется блоком 11, вькод которого соединен с фильтром 12. Этот фильтр подавляет зависимость от угла поворота oi неоднородностей интенсивности

Редактор А. Огар

Составитель А. Гордеев ,

Техред М.Дидык . Корректор Г. Решетник

Заказ .4426/45 Тираж 676Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

входного пучка и пропускает без искажения интерференционную картину, так как она не вращается.

При этом интерферограмма имеет за- шумление только с круговой симметрией, которое затем удаляется путем фильтрации логарифма интерферограм- мы, заключающейся в вычитании в Фурьеплоскости значений спектра логарифма интерферограммы в четных квадрантах из значений спектра в квадрантах, симметричных четным относительно оси частот, и последующего обнуления значений спектра логарифма интерферограммы в четных квадрантах.

Формула изобретен и я

0

5

0

5

0

Интерферометрический способ контроля качества оптических поверхностей, заключающийся в том, что расщепляют пучок когерентного излучения на два, сводят ЭТИ два пучка вместе в одной плоскости и регистрируют в этой плоскости интерферограмму, восстанавливают из нее объектный волновой фронт, по которому dyдят о качестве поверхности, отличающийся тем, что-, с целью повышения точности контроля, исходный пучок излучения вращают вокруг своей оси, интерферограмму регистрируют в плоскости, проходящей через точку пересечения оптических осей пучков, полученных в результате расщепления, устанавливают постоянную времени регистрации не меньше, чем период вращения исходного пучка, вычитают в Фурье-плоскости значения спектра в четных квадрантах из значений спектра в квадрантах, .симметричных четным относительно оси частот, и обнуляют значения спектра в четных квадрантах.

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля качества оптических деталей. Цель изобретения - повышение точности контроля - достигается путем отделения от полезного сигнала в интерферограмме. Пучок 1 света поступает в призму 2 Дове, кото рая вращает пучок 1 вокруг своей оси, разделяется на два пучка с разной интенсивностью, которые сводятся в плоскости 10 регистрации интерферо- граммы под углом друг к другу, совмещают оси обоих пучков с центром интер- ферограммы, а постоянную времени регистрации выбирают больше периода вращения пучка. 1 ил. СЛ 10