Способ измерения толщин, например, пленок Советский патент 1962 года по МПК G01B15/02 G01D5/50 

Способы измерения толщин, например тонких пленок, известны.

Отличительная особенность описываемого способа состоит в том, что толщину пленки-образца определяют по соотнощению одновременно измеренных наведенных активностей в пленке-образце и нленке-эталоне известной толщи-ны.

Такой способ повыщает точность измерения толщин тонких пленок.

Сущность описываемого способа основывается на известной закономерности, связывающей количество радиоактивных атомов, образовавщихся при действии ядерных излучений на вещество, с количеством исходного вещества, т. е. с его толщиной при неизменных остальных параметрах.

Образец-пленка, толщину которой необходимо измерить, и контрольный эталон известной толщины, изготовленный из того же материала, одновременно в одних и тех же геометрических условиях облучаются в пучке активирующего излучения (протоны, нейтроны,г-кванты). Толщина пленки определяется по отнощению образовавщихся в результате облучения активностей в образце-пленке и контрольном ее эталоне.

После облучения активности образца и эталона Пленки измеряются на одинаковых установках,

В случае использования для активизации пленок частиц большой энергии -необходимо учитывать эффект выбивания активированных ядер отдачи из образца и эталона пленки.

Для этого образец и эталон пленки необходимо заключить между двумя фольгами, улавливающими вылетающие ядра отдачи.

При этом должна быть определена активность материала пленок.

№ 149230-2предмет изобретения

Способ измерения толщин, например пленок, отличающийся тем, что, € целью шовышения точности измерения толщин тонких пленок, измеряют одновременно наведенную активность в пленке-образце и пленке-эталоне известной толщины и по их соотношению определяют толщину пленки-образца.