Дифференциальный емкостный датчик давления Советский патент 1989 года по МПК G01L9/12 G01L19/04 

//

го

2

(Л

СП

О Од 00

10

трода 1. Корпус датчика имеет удлиненный Ц11пиндрический участок, внутри которого коаксиально расположены полый циливдригческий держатель неподэкран 14, концы которых выведены наружу и снабжены изолирующими уплот- с нениями, расположенными за охлаждающим радиатором 15. 1 э.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к технике измерения дефференциальных давлений мембранными манометрами с емкостным преобразователем, предназначено в основном для измерения давления насыщенных паров веществ и обеспечивает повышение точности при высокотемпературном нагреве измерительной камеры. Манометр состоит из двух камер, разделенных мембраной, и неподвижного электрода 13. Корпус манометра имеет удлиненный цилиндрический участок, внутри которого коаксиально расположены полый цилиндрический держатель 11 неподвижного электрода и цилиндрический экран 14, концы которых выведены наружу и снабжены изолирующими уплотнениями, расположенными за охлаждающим радиатором 15. 1 ил.

Изобретение относится к технике измерения давлений и предназначено в основном, для измерения давления насыщенных паров п замкнутых объемах при высокой температуре.

Целью изобретения является повышение точности емкостного датчика давленил при высокотемпературном нагреве измерительной камеры.

На чертеже изображен дифференциальный емкостный датчик.

Измерительная камера 1 герметично соединена болтами 2 с корпусом 3 сравнительной камеры. Измерительная камера отделена от сравнительной камеры чувствительной мембраной А. В нижней пасти измерительной камеры с помощью прускимной гайки 5 и прокладки 6 закреплен съемный вентиль 7 со штуцером 8. Напускное отверстие 9 заказывается иглой 0. Неподвижный электрод 11 выполнен в ииде полого стержня с прорезью 12, образу1оп1его держатель диска 13. Между корпусом 3 и 11ег Одви:1-:ны.м электродом 11 коаксиально распо;гожен цилиндрический экран 14. В средней части датчика имеется радиатор 13. Прокладки 16 и 17, гайка 18, фигурные гайки 19 и 20 служат для герметизации электроизо- и обеспечения соосности узлов датчика, Выходной сигнал в виде электрической емкости снимают с контактов 21-23.

В датчике корпус сравнительной камеры с удлиненным цилиндрическим участком, цилиндрический экран 14 и неподвижный электрод 11 с диском 13- выполпены из материала с одинаковым ко:кМ ицнентом линейного расширения Датчик работает следующим образом Вначале производят загрузку исследуемого т ещества в измерительную камеру 1, после чего устанавливают сьемныГг вентиль 7. Затем вакуумирутот одновремен}ю измерительную и сравнительную камеры соответственио через штуцер 8 и полый неподпижный электро

Температурный дрейф нуля сводится к минимуму за счет применения J3 конструкции датчика заземленного зкрана между корпусом и неподвижным электродом, устраняющего влияние паразитных емкостей за счет стабильности начального значения емкости конденсатора, благодаря выполнению корпуса неподвижного электрода и экраиа из материала с одинаковым коэффициентом линейного расширения, а также за счет размещения всех изолирующих уплотнений и электродов вне области высоких температур за радиатором охлаждения на удлиненном цилиндрическом участке корпуса.

Формула изобретения

1, Дифференциальный емкостный датчик давления, содержащий корпус с подводящими штуцерами и мембрану, образующую измерительную камеру и

51506312

камеру сравнения, в которой располо-вдоль образующей и цилиндрический

жен неподвижный электрод в виде дис-экран, концы которых выведены из кака, закрепленный торцом в держателе,меры наружу и снабжены изолирующими

отличающийся тем, что,уплотнениями,

с целью повышения точности при иэме-2, Датчик по п. 1, о т л и ч арении давления высокотемпературных ю щ и и с я тем, что в нем корпус сред, в нем на корпусе сравнитель-сравнительной камеры с цилиндричесной камеры вьтолнен удлиненный цилинд- ким участком, экран и держатель с рический участок, внутри которого ко- ю диском вьтолнены из материала с оди- аксиально расположены держатель дис- .наковым коэффициентом линейного рас- ка в виде полого стержня с прорезьюширения.