Датчик теплового манометра Советский патент 1962 года по МПК G01L21/14 

Известные датчики тепловых манометров, например манометров Пирайи, термопарных вакуумметров, не обеспечивают широкий диапазон измерений. Для расширения пределов измерений в предлагаемом датчике его рабочий объем заполнен дисперсным теплоизолятором.

На чертеже изображен предлагаемый датчик.

Датчик теплового манометра (вакуумметр) состоит из стеклянных или металлических цилиндров 1, сообш,аюш,ихся с объемом, в котором измеряется величина вакуума. На оси цилиндра размещена металлическая нить 2, нагреваемая электрическим током, величина которого при работе датчика поддерживается постоянной. Температура нити измеряется термопарой 3.

Внутренний объем датчика заполняется дисперсным теплоизолятором 4, например кремнегелем, теплопроводность которого зависит от диапазонов вакуума.

В процессе тарировки датчика устанавливается зависимость электродвижушей силы термопары 5, измеряющей температуру нити 2 датчика, от величины вакуума. Для получения расширенных диапазонов, в пределах которых легко осуществляются измерения давления газа с повышенной точностью, используют несколько датчиков, рабочий объем которых заполнен вешествами, имеюшими различную степень дисперсности. Так, например, применение кремнегеля дает возможность производить измерения вакуумов в области 10-0,1 мм- рт. ст. Для более высоких вакуумов возможно применение грубых структур, например песка, а для небольших разряжений - аэрогеля. Удельный вес лучистого теплообмена при подобном выполнении предлагаемого датчика резко

снижается, что значительно расширяет диапазон нагрева нити и повышает точность измерений.

Описанный датчик теплового манометра может найти применение для измерений давления как воздуха, так и других газов.

Предмет изобретения

Датчик теплового манометра, отличающийся тем, что, с целью расширения пределов измерения, рабочий объем датчика заполнен дисперсным теплоизолятором.