Компенсатор для контроля формы асферических поверхностей Советский патент 1990 года по МПК G01M11/00 G01B9/02 

Изобретение относится к оптическому контролю формы асферических зеркал и может быть использовано в интерферометрических схемах контроля. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и расширение диапазона параметров контролируемых поверхностей. Гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А преобразуется плосковогнутой линзой 1 и положительным мениском 2 в негомоцентрический, лучи которого являются нормалями к теоретически точной поверхности 3 зеркала. После отражения от реальной поверхности 3 зеркала лучи снова проходят мениск 2 и линзу 2. Отличие выходного пучка от идеального гомоцентрического характеризует степень отклонения поверхности 3 от теоретически точной поверхности и регистрируется в схеме лазерного интерферометра. Относительное отверстие контролируемых зеркал до 1:0,25. 1 ил.