Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра Советский патент 1974 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

Изобретение относится к изыери-. тельной технике,в частности к области оптического приборостроения, например крупногабаритной оптике. Известен интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра,содержащий источник света,например оптический квантовый генератор,телескопическую систему,полупрозрачное зеркало,объектив и линзовый компенсатор. Однако такой интерферометр характеризуется высокими требованиями к компенсатору в части его остаточных аберрации и недостаточной точностью контроля. Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем,что он снабжен эталонным сферическим зеркалом,установленным за компенсатором с возможностью перемещения вдоль оптической оси и размещения между ними линзы с контролируемой поверхностью, которую ориентируют так, что центры кривизны зеркала и контролируемой поверхности совпадали один с другим и с изображением вершины расходящегося пучка лучей,преломленных компенсатором и неконтролируемой поверхностью линзы. Такое выполнение интерферометра позволяет снизить требования к компенсатору и повысить точность контроля.. На фиг,1 изображена схема предлагаемого интерферометра;на фиг,2взаимное расположение деталей интерферометра. Интерферометр содержит лазерный источник I света; телескопическую систему 2 для расширения пучка и у уменьшения его расходимости;полупро:ЗЕачную плосйопараллельную пластинку ,3,фокусирующий объектив 4,компенсатор 5,эталонное сферическое зеркало 6,объектив 7 для наблюдения или фотографирования интерференционной картины и экран 8 или фотопленку для регистрации интерференционнойкарти Линзу 9 с контролируемой поверх ностью К устанавливают между компен сатором и эталонным сферическим зер калом,// На фиг,2-показано: f -изобра жение точки Р , .построенное тольк компенсатором 5; Р -изображение точки F ,построенное компенсатором и первой поверхностью линзы 9; С) и С-центры кривизны соответственно контролируемой поверхности линзы 9 и эталонного сферического зеркала 6, Точки ,С и С должны быть совмещены. Интерферометр работает следующим образом, Лучи,выходящие из объектива 4,фокусируются в точке F ,образу я после нее расходящийся гомоцентрический пучок,После выхода из компенсатора и преломления на первой неконтролируемой поверхности линзы 9 лучи света вновь образуют гомоцентрический нучок,вершина которого (точка Р )является изображением точки ,Благодаря атому обеспечивается нормальное падение лучей на контролируемую поверхность К,которая является одновременно и разделительным элементом интерферометра,Так как точки Р , С . совмещают перемещением линзы 9 и зеркала б,то разность хода интерферирующих лучей зависит только от погрешностей контролируемой поверхности, т. а, от отклонений ее формы от эталонной сферической поверхности зеркала б, ; Расширение диапазона контролируемых поверхностей обеспечивается тем,что величина воздушного промежутка между линзой 9 и зеркалом б может изменяться в широких И ре делах .Практически на интерферометре могут контролироваться сферические поверхности,радиус которых меньше радиуса кривизны эталонного зеркала ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Интерферометр для контроля ормы поверхности выпуклых сфериеских поверхностей линз большого диаметра,содержащий установленные последовательно источник света,телеекопическую систему,полупрозрачное зеркало,объектив и 1{омпенсатор, отличающийся тем, что,с целью снижения требований к компенсатору и увеличения точности,он снабженсферическим зеркалом,установленным за компенсатором с возможностью перемещения вдоль оптической оси и размещения между ними линзы с контролируемой; поверхностью, которую ориентируют так,что центры , кривизны зеркала и контролируемой поверхности совпадали один с и с изображением вершины расходящегося пучка лучей,преломленных компенсатором и неконтролируемой поверхностью линзы. F Г Г I

Фиг./ Фиг. 2