Датчик абсолютного давления Советский патент 1990 года по МПК G01L7/00 

1

Датчик абсолютного давления может быть использован для измерения абсолютного давления с повышенной точностью. С этой целью в вакуумируемой камере размещают геттерный узел, состоящий из пластины 7, расположенной над ниппельным отверстием, и нанесенного на пластину геттерного материала 8. В результате после нагрева датчика достигается более низкое остаточное давление в опорной камере. 2 ил.

О1

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при конструировании и изготовлении датчиков абсолютного давления.

Целью изобретения является увеличение точности измерения за счет повышения эффективности откачки и уменьшения давления остаточных газов в ю вакуумируемой полости.

На фиг,1 представлен датчик абсолютного давления; на фиг.2 - вид А на фиг.1.

Датчик абсолютного давления, в 1 который встроено устройство вакуумиро- вания, содержит с одной стороны приемный штуцер 1, через который воздействует измеряемое давление РХ, корпус 2, воспринимающий элемент 3, вы- 2 полняемый в виде мембраны, передаточный шток 4, связанный с чувствительным элементом 5, ас другой стороны - вакуумируемую камеру 6, в которой содержится геттерный узел, выполненный 2 в виде пластины 7, на которую нанесен геттерный материал 8,

Для откачки воздуха в процессе изготовления и настройки датчиков служит ниппель 9.3

Датчик абсолютного давления, разделенный па две полости: приемную (ограниченную приемным штуцером 1 и воспринимающим элементом - мембраной 3) и опорную-вакуумируемую (ограниченную э воспринимающим элементом 3, корпусом 2 и вакуумируемой камерой 6), помещают в откачной объем. При этом в датчике ниппель 9 открыт и через него идет откачка воздуха из опорной полости. 4

После достижения необходимого разрежения в откачном объеме и соответственно, в опорной полости датчика 1СГ3- рт.ст, отверстие в ниппеле 9 заваривается, т.е. опорная д полость изолируется от окружающей среды. Из-за газовыделения внутри

опорной полости датчика разрежение

-i

в ней уменьшается до величины 10 рт.ст,, Поэтому для поглощения остаточных и адсорбированных газов датчик вместе с встроенным в него геттерным устройством нагревают до температуры активизации геттрг..

ю

15 2025

6084

го материала 8 (практически до 200- 250 С) и выдерживают его при такой температуре в течение 15-25 мин. За это время адсорбированные на внутренней поверхности опорной полости датчика газы успевают десорбировать- ся и поглотиться геттерным материалом, Благодаря тому, что геттерный материал находится на пластине, расположенной над отверстием, он не подвергается уносу и не затрудняет откачку воздуха и остаточных газов при ва- куумировании датчика.

Геттерный материал 8 может быть нанесен на пластину 7 в виде пленки (например, титана) или в виде спеченной композиции (титан 60-65%, магний 40-3 3%).

Работа датчика абсолютного давления происходит следующим образом.

При изменении давления РХ усилие, развиваемое воспринимающим элементом 3, передается на чувствительный элемент 5.

Усилие, развиваемое чувствительным элементом 5 от давления в опорной камере Р , вычитается из усилия от давления Р.

Чем меньше давление Р0 , тем точнее измерение абсолютного давления.

Изобретение позволяет создавать в опорной камере более низкие давления .

Формула изобретения

Датчик абсолютного давления, содержащий корпус, мембранный чувствительный элемент, который разделяет корпус на опорную и измерительную камеру, ниппель с отверстием, закрепленный в сгенке опорной камеры, и расположенный в опорной камере геттерный узел, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности измерения за счет повышения эффективности откачки и уменьшения давления остаточных газов, в нем геттерный узел выполнен в виде пластины, которая закреплена на внутренней стенке опорной камеры над отверстием ниппеля, причем на пластину нанесен геттерный материал .

Фиг. Z