Способ вакуумирования датчиков абсолютного давления и устройство для его осуществления Советский патент 1987 года по МПК G01L7/00 

113

Изобретение относится к койтроль- но-измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для измерения аюролютного давления.

Целью изобретения является повышение надежности работы датчика за счет уменьшения остаточного давления в опорной камере.

На фиг.1 показана конструкция датчика абсолютного давления, позволяющая реализовать предлагаемьй спо соб; на фиг.2 - геттерный фильтр,

Вакуумирование и герметизация опорных полостей датчиков абсолютного давления по предлагаемому способу осуществляются следующим образом.

Датчик конструктивно разделенный на две полости, измерительную - рабочую (ограниченную приёмным штуцером и воспринимающим элементом 2) и опорную - вакуумируемую Гограни- ченную воспринимающим элементом 2, внешним корпусом 3 и вакуумируемым корпусом 4 помещают в вакуумный бокс. Предварительно в отверстие вакуумируемого корпуса 4 помещают геттерный фильтр 5 и жестко фиксируют ниппель 6 в вакуумируемом корпусе 4 с помощью электронно-лучевой или аргонно-дуговой сварки, В вакуумном боксе создается давление разря- . 4

жения порядка 10 - 10 мм рт,ст. и по истечении определенного времени зависящего от объема опорной полости внутреннего диаметра ниппеля и размеров геттерного фильтра (практически это время составляет от 20 мин до 2 ч), когда давление в опорной полости выравнивается с давлением во всем вакуумном боксе, отверстие в .нипеле 6 заваривается, тем самым полностью замыкается объем опорной полости. Так как между ниппелем 6 и. чувствительным элементом 7 (например металлопленочным тензопреобразовате- лем) существует заслон в виде геттерного ф шьтра 5, то при сварке обеспе гшвается достато шая защита измерительной cxcMt-i чувствительного элемента 7 от попадания на нее брызг расплавленного металла. Сварка за- ключитепьного шва (внутреннего отверстия ниппеля осуществляется непосредственно в вакуумном боксе, для чего может быть использовано подкол- пачное устройство установки электронно-лучевой сварки.

После сварки сборку подвергают нагреву до температуры, соответст0

вующеи температуре поглощения газов порошкообразным геттерным материалом Минимальное время выдержки сборки при такой температуре должно быть не менее времени, при котором датчик будет окончательно термостабилизирв ван. Данное время будет зависеть от массы н объема датчика, объема гет,- терного устройства и т.д.

Устройство вакуумирования датчиков абсолютного давления содержит

Г вакуумируемый корпус 4 (фиг.2) в

котором установлены геттерный фильтр 5 и ниппель 6. В свою очередь геттерный фильтр 5 состоит из двух сетчатых Колпачков: наружного колпачка

20 8 и внутреннего колпачка 9„ а пространство между колпачками заполнено порошкообразным-материалом (геттерным составом 10), представляющим собой состав, например, из титана и

25 магния. Данный состав (в соотношении, %: титан 60-65, магний 40-35) помещается между двух сетчатых колпачков и спекается при 560-600°С между собой и со стенками колпачковj

30 после чего готовый геттерный фильтр 5 устанавливается в сборку датчика, В результате операции спекания геттерный фильтр 5 становится единым монолитным блоком, и за счет этого

35 исключается рассыпание порошкообразного материала и попадание его в опорную полость на чувствительньп элемент датчика.

Датчики абсолютного давления с

40 введенным в них устройством вакууми - рования работают в расширенном температурном диапазоне.

Формула и 3 о б р е т е н и . Г

f. Способ вакуумирования датчиков абсолютного давления, заключающийся в откачке через ниппель воздуха из опорной камеры датчика, помещенного

в вакуумный бокс, -о т л и ч а то. - щ и и с я тем, 4TOj с целью повышения надежности работы датчика за счет уменьшения остаточного давления в опорной камере, производят откачКУ воздуха через обладающий геттер- ными свойствами фильтр помещенный в сквозное отверстие корпуса опорной камеры, герметизируют отверстие ниппеля и нагревают датчик до температуры, при которой происходит адсорбция гаЗов в фильтр,

I

2. Устройство для вакуумирования датчиков абсолютного давления, содержащее ниппель, установленный соосно со сквозным отверстием корпуса датчика со стороны опорной камеры, отличающее ся тем, что, с целью повышения надежности работы

в него введен фильтр, закрепленньй в сквозном отверстии корпуса между опорной камерой и ниппелем, причем фильтр вьшолнен в виде сетчатых колпачков, расположенных своими цилиндрическими частями друг в друге, а пространство между торцами колпачков заполнено порошкообразным материалом, обладающим геттерными свойствами.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет повысить надежность работы датчика за счет уменьшения остаточного давления в опорной камере. Откачку воздуха из опорной полости осуществляют через геттерный фильтр 5, помещенный в отверстие вакуумируе- мого корпуса 4. После вьфавнивания давлений в опорной полости и во всем вакуумном боксе отверстие в ниппеле 6 заваривают и подвергают сборку нагреву до т-ры поглощения газов порошкообразным геттерным материалом фильтра 5. Геттерный фильтр 5 получают спеканием порошкообразного материала, заполняющего пространство между сетчатыми колпачками. При заваривании отверстия в ниппеле 6 фильтр 5 предохраняет чувствительный элемент 7 от брызг расплавленного материала. 2 с,п. ф-лы, 2 ил. с (Л

Фиг, 2