Способ получения видимого изображения на структуре А @ S @ /А @ Советский патент 1991 года по МПК G03C1/72 

Изобретение относится к области оптической обработки информации, в частности к способу получения изображения на халько- генидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии.

Цель изобретения - повышение светочувствительности структуры.

Физической основой предлагаемого способа является разница в механизме взаимодействия Ад с Аз25з в зависимости от интенсивности действующего света. Как показали эксперименты, при облучении структуры А$25з/Ад слабым светом образуется АдзАзЗз, а при облучении сильным светом - Адз5. АдзАзЗз образующийся при предварительном экспонировании слабым светом, является блокирующим слоем, препятствующим дальнейшему растворению Ад в А$25з при освещении сильным светом. Формирование блокирующего слоя при первом экспонировании создает основу для получения видимого изображения при втором облучении.

Блокирующий слой, приводящий к повышению светочувствительности, образуется при энергетической освещенности мВт/см2. При мВт/см2 блокирующий слой не образуется и повышения светочувствительности не наблюдается.

Для повышения светочувствительности необходимо, чтобы за время экспонирования успел сформироваться блокирующий слой. Блокирующий слой формируется при временах экспонсирования t 300/1 с При временах t 300/1 с блокирующий слой не формируется и повышения светочувствительности не происходит.

П р и м е р 1. Двухслойная светорегист- рирующая система А825з/Ад была получена следующим образом. На подложку из полированного оксидного стекла толщиной 1,8 мм термическим испарением в вакууме напыляли слои As2Ss и Ад. Для испарения был взят сульфид мышьяка, синтезированный из исходных компонентов: S (ОСЧ-16-5) и As (ОСЧ-17-4). Материалы в соотношении 3 2 помещали в кварцевую ампулу, затем отка(Л

С

СП х|

XI ел ел

ю

чивали ампулы до давления остаточных гз- зов торр и запаивали. Ампулу нагревали до 700°С, выдерживали при этой температуре 10 ч и охлаждали до комнатной температуры. Полученное стекло АзаЗз использовали для получения пленки. Используемое для напыления сереЬро имеет квалификацию Ч ДА (ТУ 5П-56-70). Напыление обоих слоев проводили на установке АВП-0.5. Навески AS2S3 (0,2 г) и (0,05 г) помещали в две разные лодочки, изготовленные из танталовой ленты, Лодочки подключали к контактам, через которые на испарители подается напряжение. Над испарителями на стеклянном стакане высотой 16 см размещали подложки (полированные стеклянные пластинки) и кварцевый датчик прибора КИТ-1, с помощью которого определяли толщину напыляемых слоев As2Ss и Ад, Затем проводили откачку до давления остаточных газов 6 мм рт.ст. После достижения необходимого вакуума проводили напыление пленки А825з. Для этого через испаритель пропускали ток 18 А, обеспечивающий испарение Аз25з в течение времени (в нашем эксперименте 180 с), необходимого для получения пленки толщиной 0,3 мкм. Толщину пленки измеряли в процессе напыления с помощью кварцевого измерителя толщины КИТ-1, после чего делали пятиминутный перерыв. Затем в той же вакуумной камере напыляли слой Ад (ток через испаритель - 17 А, время напыления 55 с, толщина слоя Ад 750 А ). Полученную светочувствительную структуру в темноте извлекали из напылительной установки.

Экспонирование проводили полихроматическим светом от проектора ЛЭТИ-60. Светочувствительная структура размещалась на расстоянии 10 см от объектива проектора. Для формирования изображения между проектором и светорегистрирующей структурой помещался фотошаблон, механически прижатый к светорегистрирующей

структуре. Для получений слабого света, формирующего изображение, между объективом и светочувствительной структурой помещался нейтральный светофильтр из

стекла НС-6 толщиной 2,2 мм. При этих условиях энергетическая освещенность составила на поверхности светочувстительной пластины б мВт/см . Облучение проводили в течение 1 мин. После этого проводили равномерную засветку светочувствительной пластины саетом с I 120 мВт/см2 (полный свет проектора ЛЭТИ-60 на расстоянии 10 см от объектива) э течение 3 мин. В результате на светорегистрирующей структуре было сформировано изображение, контрастность которого составляла К 5,2. Полученное изображение характеризуется разрешением, позволяющим различать элементы с размерами порядка 2 мкм. Светочувствительность

составила 3 см2/Дж.

В примерах 2-4 оптическое изображение получено в результате экспонирования структуры Ав25з светом различной энергетической освещенности при разных временных экспонирования. Результаты экспериментов сведены в таблицу. В этой же таблице приведены сведения об изображении, полученном по способу-про -отипу.

Величина, обрат пая плотности энергии,

необходимой для изменения оптической плотности в 2 раза, характеризует достигнутую светочувствительность.

Формула изобретения Способ получения видимого изображения на структуре Аз25з/Ад, включающий избирательное освещение видимым светом, о т- личающийся тем, что, с целью повышения светочувствительности структуры, освещение проводят светом с энергетической

освещенностью м Вт/см2 в течение времени t 300/1 с, а затем неизбирательно светом того же спектрального состава, но с энергетической освещенностью 50м Вт/см2

Изобретение относится к области оптической обработки информации, в частности к способам получения изображения на халь- когенидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии. Цель - повышение светочувствительности структуры, Исходную структуру As2Ss/Ag освещают избирательно видимым светом с энергетической освещенностью I 10 мВт/см2 в течение времени t 300/1 с, а затем светом того же спектрального состава неизбирательного и с энгергетической освещенностью мВт/см2. Светочувствительность возрастает от 0,3 до 3,0 см2/Дж. 1 табл.