СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗОЛОТО-АЛЮМИНИЕВЫХ МИКРОСВАРНЫХ КОНТАКТНЫХ СОЕДИНЕНИЙ Советский патент 1995 года по МПК H01L21/28 

Описание патента на изобретение SU1589927A1

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для получения контактных соединений полупроводниковых приборов и интегральных схем (ИС).

Цель изобретения повышение качества и надежности золото-алюминиевых микросварных соединений путем исключения образования интерметаллических соединений.

Для эксперементального подтверждения предлагаемого способа были изготовлены модельные образцы тонкопленочной структуры золото-никель-алюминий в трех партиях с толщинами, : Au Ni Al 160 100 360 160 150 330 160 200 330
Образцы подвергались термообработке в камере электронного микроскопа при температурах от 125 до 550оС и одновременно регистрировалось изменение дифракционной картины в режиме просвечивания. Результаты структурного анализа (расшифровка электронограмм) показали, что на начальных этапах термообработки на границах разделов золото-никель, никель-алюминий образуются зоны твердых растворов, которые при дальнейшей термообработке уменьшают диффузионные потоки золота и алюминия, и тем самым исключают фазообразование в системах золото-алюминий, алюминий-никель.

Таким образом, способ получения золото-алюминиевых микросварных контактных соединений позволяет исключить взаимодействие золота и алюминия, образование интерметаллидов системы никель-алюминий, на влияя на электрофизические параметры полупроводниковых приборов и ИС, улучшить качество и надежность золото-алюминиевых микросварных соединений.

Похожие патенты SU1589927A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТНОГО СОЕДИНЕНИЯ 1989
  • Мкртчян С.О.
  • Есаян С.Ж.
  • Авакян П.Б.
  • Абгарян М.Г.
  • Будагян А.Н.
SU1708104A1
Контактная пара для микросварки интегральных схем 1977
  • Колешко В.М.
  • Белицкий В.Ф.
SU722429A1
Способ сборки интегральных схем 1990
  • Шеревеня Андрей Григорьевич
  • Жора Владимир Дмитриевич
  • Тучинский Игорь Амброзович
SU1781733A1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ 2008
  • Борыняк Леонид Александрович
  • Непочатов Юрий Кондратьевич
RU2384027C2
Микропроволока 1984
  • Степаненко Александр Васильевич
  • Гулай Анатолий Владимирович
  • Войтов Владимир Григорьевич
  • Колешко Лариса Александровна
SU1250424A1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ШАРИКОВЫХ ВЫВОДОВ НА АЛЮМИНИЕВОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ КОНТАКТНЫХ ПЛОЩАДОК КРИСТАЛЛА 2017
  • Зенин Виктор Васильевич
  • Рогозин Никита Владимирович
  • Побединский Виталий Владимирович
  • Колбенков Анатолий Александрович
  • Лаврентьев Евгений Вячеславович
  • Рябов Александр Валерьевич
  • Князев Кирилл Сергеевич
RU2671383C1
Многослойная коммутационная плата СВЧ-гибридной интегральной микросхемы космического назначения и способ её получения (варианты) 2019
  • Поймалин Владислав Эдуардович
  • Жуков Андрей Александрович
  • Калашников Антон Юрьевич
RU2715412C1
ЛЕНТА ДЛЯ ВЫВОДНЫХ РАМОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ 1993
  • Кравченко Л.Л.
  • Кузьминов В.Н.
  • Думбров В.И.
  • Гиоев Э.В.
  • Катаев Р.С.
  • Зубарев Ю.Б.
  • Колычев В.П.
  • Бублик А.А.
  • Кокоев А.Н.
  • Родин И.В.
RU2037912C1
СПОСОБ БЕССВИНЦОВОЙ КОНТАКТНО-РЕАКТИВНОЙ ПАЙКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО КРИСТАЛЛА К КОРПУСУ 2008
  • Зенин Виктор Васильевич
  • Бокарев Дмитрий Игоревич
  • Гальцев Вячеслав Петрович
  • Кастрюлёв Александр Николаевич
  • Кочергин Александр Валерьевич
RU2379785C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОЩНЫХ СВЧ ТРАНЗИСТОРНЫХ СТРУКТУР СО СТАБИЛИЗИРУЮЩИМИ ЭМИТТЕРНЫМИ РЕЗИСТОРАМИ 1991
  • Асессоров В.В.
  • Велигура Г.А.
  • Гаганов В.В.
RU2024994C1

Реферат патента 1995 года СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗОЛОТО-АЛЮМИНИЕВЫХ МИКРОСВАРНЫХ КОНТАКТНЫХ СОЕДИНЕНИЙ

Изобретение относится к микроэлектронике, к способу получения золото-алюминиевых микросварных контактных соединений. Цель изобретений повышение качества и надежности золото-алюминиевых микросварных соединений путем исключения образования интерметаллических соединений. В способе напыляют алюминиевую контактную площадку, не нарушая вакуума, формируют промежуточный слой путем напыления никеля толщиной 3000 и проводят термообработку при температуре 530°С в течение 30 мин, после этого проводят термокомпрессионное присоединение золотой проволоки.

Формула изобретения SU 1 589 927 A1

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗОЛОТО-АЛЮМИНИЕВЫХ МИКРОСВАРНЫХ КОНТАКТНЫХ СОЕДИНЕНИЙ, включающий напыление алюминиевой контактной площадки, формирование промежуточного слоя и термокомпрессорное присоединение золотой проволоки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и надежности соединений путем исключения образования интерметаллических соединений, после напыления алюминия, не нарушая вакуума, формируют промежуточный слой путем напыления никеля толщиной 3000 и проводят термообработку при температуре 530oС в течение 30 мин.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1995 года SU1589927A1

0
SU152975A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 589 927 A1

Авторы

Мкртчян С.О.

Есаян С.Ж.

Абгарян М.Г.

Авакян П.Б.

Даты

1995-12-10Публикация

1988-06-20Подача