Способ контроля надежности интегральных микросхем Советский патент 1990 года по МПК G01R31/303 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для диагностического контроля и отбраковки предрасположенных к коррозии интегральных микросхем. Цель изобретения - снижение продолжительности контроля. На интегральные микросхемы 1 подают напряжение питания от блока 4 питания через блок 2 коммутации, охлаждают в камере 5 холода и измеряют с помощью измерителя 3 тока утечки информативный электрический параметр - ток утечки контролируемой интегральной микросхемы при критическом значении температуры. За критическое значение температуры принимают значение температуры, соответствующее точке выпадения росы находящегося в подкорпусном пространстве микросхемы газа, ненадежной считают микросхему, если значение тока утечки при критическом значении температуры превышает среднее значение тока утечки контролируемой партии микросхем. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.