Способ приготовления штриховой меры тест-объекта для градуировки увеличения и проверки разрешающей способности электронных микроскопов Советский патент 1990 года по МПК G01N1/28 

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в электронной микроскопии.

Целью изобретениг является расши-. рение функциональных возможностей тест-объекта при сокращении времени его приготовления.

На чертеже показана схема записи голографической решетки.

Подложка имеет вид равнобедренной призмы 1. На ее основании 2 последовательно нанесены пленки хлористого серебра 3 (100 нм) и серебра Jkl0...15 нм). Одна из граней 5 приз- М)1 I покрыта алюминиевым зеркалом, а вторая грань 6 прозрачна. Позициями 7 и 8 показан ход лучей в материале ПРИЗМ51,

Способ реализуется следуюп нм образом.

Через вторую грань 6 светочувствительный слой облучается нормально па- даклцим к этой грани лазерным лучом С длиной волны Л о из видимой облас- ти спектра (например, , 442 нм). Интерференционная картина образуется падающим лучом 7 и лучом 8, отраженным зеркалом. При этом период d интер- ферещнонной картины и голографичес- кой решетки при записи этой картины ;Б пленке AgCl - Ag равен

СП

СО

05 CJ5

00

d

гп sinф

Угол падения cf лучей 7 и 8 связан с углом (/ при вершине приз соотно- шением (,Т-о/).

Серебро, находившееся до облучения сверху пленки AgCl, в процессе облу- чения распределяется по всей толщине пленки и на границах AgCl - воздух и AgCl - призма. Облученный образец помещают в экг.икатор с парами иода, образующимися при субпимации иода из небольшого кусочка кристаллического иода, помещенного на дно эксикатора. Поверхностный .слой серебра иодируют при комнатной температуре до его полного превращения в Agl. Затем образец помещают в раствор фотографического ксажа, п1)0№шают водой и высушивают Путем дифрактометрических измерений контролируют период полученной серебряной решетки. Далее в вакууме напы- ляют на рещетку угольную пленку толщиной порядка 10 нм, которую затем отделяют вместе с решеткой с помощью желатины. Полученный образец закрепляют на столику объектов и помещают в злектронный микроскоп. Выведя последний на рабочий режим, получают сфокусированное изображение штрихов и производят съемку полученного изображения. Измерив расстояние между иден- тичными линиями, калибруют увеличение микроскопа. Так как штрихи полученной решетки состоят из частичек серебра размером от 3 до 100 нм, то данный объект можно использовать для проверки разрешающей способности при бора, оценив размер частичек или промежутков между ними по известному пр калиброванному значению увеличения микроскопа.

При мер. Использовалась равнобедренная прямоугольная призма из стекла ТФ-5 с показателем преломления ,78 и газовый лазер с длиной всшны

-ч

д 4А1,6 нм. Измеренный азотным газовым лазером с длиной волны Я 337 нм период сформированной решетки составил 175 .нм, что практически совпало с расчетным значением по указанной фор муле.

Формула изобретения

Способ приготовления штриховой меры тест-объекта для градуировки увеличения и проверки разрешающей способности электронных микроскопов, включающий нанесение светочувствительного слоя на подложку из прозрачного материала, запись голографической решетки путем облучения светочувствительного слоя лучом, лазера и проявление голографи- ческой решетки путем химической обработки светочувствительного слоя, о т- пичающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей тест-объекта при уменьшении времени его приготовления, в качестве подложки используют равнобедренную призму с алюминиевым зеркалом на одной из ее граней, и светочувствительный слой наносят на ее основание, при этом облучение светочувствительного слоя осуществляют через вторую грань призмы перпендикулярно к ее поверхности, в качестве светочувствительного слоя используют последовательно нанесенные пленки хлористого серебра топш)- ной 100 нм и серебра, толщиной 10...15 нм, а проявление голографической решетки проводят путем обработки светочувствительного слоя парами иода при комнатной температуре до полного иодирования пленки серебра и последующей выдержки в фотос{иксаже.

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в электронной микроскопии. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей тест-объекта при сокращении времени его приготовления. Светочувствительный слой (СС) наносят на основание стеклянной равнобедренной призмы, одна из граней которой покрыта алюминиевым зеркалом. Облучение СС осуществляют лучом лазера через вторую грань призмы. Записывают голографическую решетку. В качестве СС используют последовательно нанесенные пленки хлористого серебра и серебра. Проявление облученного СС осуществляют путем его обработки парами иода до полного иодирования пленки серебра и последующей выдержки в фотофиксаже. Полученная решетка может быть использовано в качестве исходного образца для тест-объекта. 1 ил.