Способ приготовления образца дифракционной решетки для исследования в электронном микроскопе Советский патент 1986 года по МПК G01N1/28 G01N1/36 

Изобретение относится к технике подготовки образцов для исследования методами электроиной микроскопии, в частности к приготовлению реплик с дифракционных решеток, позволяющих наблюдать профиль их штрихов. Цель изобретения - повышение качества образца за счет повышения точности перегиба реплики. Сущность способа заключается в следующем. На поверхность дифракционной решетки через заслонку в вакууме напыляют углерод толщиной 10-20 нм. Заслонка необходима для получения более прочного слоя. Для уменьшения времени изготовления реплики желательно дополнительно напылить углерод без использования заслонки такой толщины (30-40 нм), чтобы при перегибе реплика не рвалась. После напыления углеродную реплику отделяют от поверхности решетки с. помощью желатина. По высохшей поверхности желатина делают разметку образца, одна из сторон которого параллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Далее вырезают образец, отмывают его от желатина в дистиллированной воде и вылавливают на ребро сетки-подложки, подводя ее снизу под плавающую на поверхности воды углеродную реплику параллельно базовой стороне образца. При этом реплика облегает сетку-подложку с двух сторон. В результате на ребре сетки-подложки образуется перегиб реплики, рельеф которого определяет профиль штрихов дифракционный решетки в электронном микроскопе. Толщину углеродной реплики используют такую, что с одной стороны пленка прочная и не рвется при перегибе, а с другой стороны остается прозрачной для электронов. При выполнении этого условия имеется возможность контроля качества перегиба по совпадению штрихов перегнутой реплики. При полном совпадении штрихов делают вывод о достоверности изобретения профиля штрихов дифракционной решетки. Для просмотра в электронном микроскопе сетку-подложку с перегнутой репликой вы- рубают так, что ее край располагается примерно по середине объектного патрончика. На удаленных от края ячейках сеточки практически всегда есть .участки, где реплика располагается в один слой, и можно наблюдать структуру поверхности решетки, дает возможность получить микрофотографии профиля решетки и ее поверхности за один цикл. Формула изобретения Способ приготовления образца дифракционной решетки для исследования в электронном микроскопе, включающий нанесение на поверхность дифракционной решетки пленки материала реплики, отделение реплики, вырезание образца и его перегибание по перпендикулярной к направлению штрихов решетки линии, отличающийся тем, что, с целью повышения качества образца за счет повышения точности перегиба реплики, в качестве материала реплики углерод, перед отделением реплики на нее наносят слой желатина, по поверхности которого производят разметку образца, по крайней мере одна из сторон которого параллельна линии перегиба, вырезание образца осуществляют по разметке, растворяют слой желатина в воде, а перегибания образца производят путем извлечения реплики из воды на ребро сетки-подложки.

Изобретение относится к технике подготовки образцов для исследования методами электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение качества образца. На поверхность дифракциоиной решетки напыляют углерод толш,иной 10-20 им. Углеродную реплику отделяют от поверхности решетки с помощью желатина. По высохшей поверхиости желатина делают разметку образца, одна из сторон которого параллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Затем образец отмывают от желатина в дистиллированной вою де и вылавливают на ребро сетки-подлож(Л ки, подводя ее снизу под плавающую углеродную реплику. При этом на ребре сетки-подложки образуется перегиб реплики, рельеф которого определяет профиль штрихов дифракционной решетки в электронном микроскопе. to sj tND