| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Датчик давления | 1989 |
|
SU1622788A1 |
| Способ соединения сапфира с металлом | 1986 |
|
SU1437360A1 |
| Установка для диффузионной сварки | 1986 |
|
SU1391839A1 |
| Датчик давления | 1989 |
|
SU1642284A1 |
| Резонатор для вибростенда | 1987 |
|
SU1505596A1 |
| Датчик давления | 1988 |
|
SU1569613A1 |
| Датчик давления | 1988 |
|
SU1619079A1 |
| Интегральный преобразователь давления | 1987 |
|
SU1515082A1 |
| Способ соединения сапфира с металлом | 1989 |
|
SU1719375A1 |
| Датчик линейных перемещений | 1982 |
|
SU1033849A1 |
Изобретение может быть использовано для повышения надежности и расширения технологических возможностей. Это достигается тем, что полупроводниковая мембрана 1 соединяется с диском 6 из стекла, а диск соединяется с металлостеклянным узлом 13 через слой 10 из поликристаллического кремния. Последнее позволяет расширить номенклатуру применяемых материалов. 1 ил.
Ф1/г.2
ГЧ Ч ч Ч Ч Ч
Поправка
/
Л
ФигМ
Л
16
Фие.
Ч
Поправка
J
13
i ч ч Ч. HZ
/
19
7
Фие.д
ч
ХУУХ
Щ /
22
Фие.7
0U2.S
V7J-74
2ff -27
| УСТРОЙСТВО для ОРИЕНТАЦИИ ПЛОСКИХ МИКРОПЛАТ, СНАБЖЕННЫХ КЛЮЧОМ | 0 |
|
SU208054A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
