Лазерное устройство растрового типа для изготовления фотошаблонов печатных плат Советский патент 1990 года по МПК H01L21/268 G03F7/20 

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к устрой- . ствам для изготовления фотошаблонов печатных плато

Цель изобретения - повьшение надежности устройства и расширение его функдиональных возможностей.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство для изготовления фотошаблонов печатных плат содержит технологический лазер 1, по ходу луча которого последовательно расположены поворотное зеркало 2, оптическая система 3 сужения луча, оптический затвор 4, поворотное зеркало 5, фокусирующая система 6, поворотное зеркало 7, зеГ алькая призма 8, установленная на валу двигателя 9, поворотное зеркало 10, кадровое отклоняющее зеркало 11 с магнитоэлектрическим приводом 12, кассета с фотоматериалом 13, конденсор.1А и фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) 15. Кроме того, устройство содержит блок 16 управления oriTHMecKtrM затвором 4, вьь.од ко- орого подсоединен к оптическому затвору 4, датчик .17 углового положения призмы 8, датчик 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала 11, блок 19 управления движени- Q ем кадрового отклоняющего зеркала 11, выход которого подсоединен к управля- юпдему входу магнитоэлектрического при- вода 12, кодирующую систему 20, вхо- ды которой соединены с выходом ФЭУ г 15, датчиком 17 углового положения призмы и датчиком 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала, и блок . 1 управления.

Устройство работает следующим образом.

Луч технологического лазера 1 после поворота зеркалом 2 сжимается с помощью оптической системы 3 до размеров входного окна оптического тс затвора 4. Рабочий луч, прошедший оптический затвор 4, направляется поворотным зеркалом 5 в фокусирующую систему 6, которая фокусирует лазер- ньЕй луч в плоскости кассеты с фотоматериалом 13. Поворотное зеркало 7 направляет луч, прошедший фокусирующую систему 6, на вращаюпгуюся зеркальную призму 8, которая обеспечивает его горизонтальную развертку каждой граньюс Развернутый луч направляется поворотным зеркалом 10 на

кадровое отклоняющее зеркало 11 , обес- пе ивающее кадровую развертку луча на кассете с фотоматериалом 13. Включение и выключение луча осуществляют оптическим затвором 4.

В качестве технологического лазера в устройстве можно использовать аргоновый лазер непрерывного действия (длина волны излучения 0,48 мкм, мощность 50 мВт). Оптическая система 3 представляет собой трубку Галилея, оптический затвор 4 выполнен на основе .промышленного акустооптического модулятора МЛ-201, фокусирующая си- 50 гтема 6 включает в себя расширитель луча (трубка Галилея) и объектив с {)окусным расстоянием, равным плине хода луча от фокусит)уюшей системы до плоскости кассеты с фотоматериалом 13. 5

.Блок 21 управления (микроЭВМ Электроника-60) осуществ.пяет управ- ; 1ение движением кадрового отклоняюше35

40

45

Q г

тс

0 5

35

0

5

го зеркала 11 в режимах прорисовки и калибровки через «лок 19 управления, а также управление оптическим затвором через блок 16 управления. В режиме калибровки в фокальной плоскости фокусир.ующей системы 6 вместо фотоматериала устанавливается эталонный образеп с нанесенными на него с высокой точностью крестообразными реперами. За образцом устанавливаются конденсор:- 14 и ФЭУ 15. Образец сканируют лазерным лучом в режиме развертки типа телевизионного рястоа. В моменпъ пр.регечения лучом плеча репера на выходе ФЭУ появляется видеосигнал, которьш используется кодирующей системой 20 для инициирования передачи координат точки пересечения от датчика 17 углевого положения призмы и датчика 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала в блок 21 управления. Используя полученный при сканировании массив координат, блок 21 управления вычисляет координаты центров реперов (в единицах отсчета устройства) и, зная реальное положение реперов на образце, вычисляет коэффициенты преобразования от системы координат устройства к системе координат, определяемой реперами на образце, а также величины коррекций, которые необходимо вносить в выводимую информацию для компенсации систематических искажений.

Формула изобрете.ния

Лазерное устройство растрового типа для изготовления фотошаблонов печатных плат, содержащее блоки управления, технологический лазер, по ходу луча которого расположены оптическая система сужения лУча, оптический затвор с блоком управления оптического затвора, фокусирующая система, в фокусе которой расположена кассета с фотоматериалом, поворотные зеркала и зеркальная призма, установленная на валу двигателя, с датчиком углового положения, отличающееся тем, что, с целью повьше- ния надежности и расишрения функциональных возможностей устройства, оно снабжено кадровым отклоняющим зерка- лом с магнитоэлектрическим приводом, датчиком углового положения кадрового отклоняюп1его зеркала и блоком уп- рлвлен; я движением кадрового отклоняющего зеркала, расположенным между зеркальной призмой и плоскостью кассеты с фотоматериалом, и кодирующей системой, конденсором ., установлен- ньм по ходу лазерного луча у кассеты с фотоматериалом с противоположной стороны от кадрового отклоняю1цего зер-ала, и фотоэлектронным умножителем, расположенньм в фокусе конденсора, причем кодирующая система соединена с фотоэлектронным умножителем и блоком управления, а блок управления кадрового отклоняющего зеркала и датчик углового положения кадрового отклонянж(его зеркала соединены с блоком управления.

Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является повышение надежности и расширение функциональных возможностей. Лазерное устройство растрового типа для изготовления печатных плат содержит блок управления, технологический лазер, по ходу луча которого расположены оптическая система сужения луча, оптический затвор с блоком управления оптического затвора, фоксирующую систему, в фокусе которой расположена плоскость кассеты с фотоматериалом, поворотные зеркала, зеркальную призму и расположенное за ним кадровое отклоняющее зеркало с магнитоэлектрическим приводом, датчиком углового положения зеркала и блоком управления движением кадрового отклоняющего зеркала, в кодирующая система соединена с фотоэлектронным умножителем, расположенным в фокусе конденсора, который установлен за плоскостью кассеты с фотоматериалом по ходу лазерного луча. Луч технологического лазера сканирует плоскость кассеты с фотоматериалом, осуществляя формирование топологии фотошаблонов печатных плат. 1 ил.

J3

Ж

---45