Устройство для совмещения проводящего рисунка на маске с рисунком подложки Советский патент 1991 года по МПК H01L21/312 G03F7/20

Описание патента на изобретение SU1611158A1

Фиг.З

А-А

Похожие патенты SU1611158A1

название	год	авторы	номер документа
Устройство для совмещения рисунка на маске с рисунком подложки	1989	Генцелев А.Н.	SU1595270A1
Устройство для совмещения рисунка на маске с рисунком подложки	1988	Генцелев А.Н.	SU1618158A1
Устройство для совмещения рисунков подложки и фотошаблона	1977	Зайцев В.А. Зайцев Э.С. Кадомский И.А. Свиридов Л.М.	SU695433A1
Реперный знак для совмещения рисунка маска с рисунком подложки	1988	Генцелев А.Н. Торопов И.А.	SU1529973A1
Устройство для совмещения и экспонирования	1989	Генцелев А.Н.	SU1611155A1
Способ совмещения рисунка маски с рисунком подложки	1987	Генцелев А.Н. Самойлиди Н.П.	SU1501759A1
Способ нанесения через жесткую маску металлического рисунка на область с другим ранее нанесенным металлическим рисунком при производстве крышек корпусов неохлаждаемых термочувствительных элементов	2022	Курыгин Кирилл Аркадьевич Москаленко Игнат Михайлович Абакаров Абдула Абакарович	RU2789662C1
Способ подготовки к контактному экспонированию и устройство для его осуществления	1977	Детлеф Ульрих Петер Вестфаль Дитер Эскольд Хельмут Штельценмюллер	SU750614A1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГОЛОГРАФИЧЕСКИХ ИЗОБРАЖЕНИЙ РИСУНКА	2012	Борисов Михаил Владимирович Гавриков Александр Александрович Князьков Дмитрий Юрьевич Михеев Петр Андреевич Раховский Вадим Израилович Челюбеев Дмитрий Анатольевич Черник Виталий Валериевич Шамаев Алексей Станиславович	RU2511035C1
Способ формирования рисунков	1979	Азаров Александр Александрович Гасан Юрий Иванович	SU864382A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 611 158 A1

Реферат патента 1991 года Устройство для совмещения проводящего рисунка на маске с рисунком подложки

Изобретение относится к технике полупроводникового производства, в частности к рентгенолитографии, и предназначено для использования в установках для совмещения рисунка на маске с рисунком на подложке и экспонирования. Цель изобретения - повышение точности совмещения рисунков топологических слоев на подложке - достигается путем уменьшения погрешности установления рабочих поверхностей маски и подложки параллельно друг другу с определенным микрозазором между ними, а также путем стабилизации микрозазора во время операций совмещения и экспонирования. В устройстве для совмещения рисунка на маске с рисунком подложки маска 1 и подложка 2 установлены с возможностью периодического изменения угла наклона между их рабочими поверхностями в различных направлениях, маска 1 и подложка 2 электрически изолированы от устройства и электрически соединены с входом электрической схемы 9, соединенной с блоком 3 обработки и управления, маска 1 и подложка 2 при этом выполняют функцию бесконтактного датчика микрозазора. 3 ил. V -ч,/

Формула изобретения SU 1 611 158 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1991 года SU1611158A1

Способ получения молочной кислоты	1922	Шапошников В.Н.	SU60A1
Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п.	1921	Богач Б.И.	SU3A1

SU 1 611 158 A1

Авторы

Генцелев А.Н.

Самойлиди Н.П.

Даты

1991-11-30—Публикация

1988-11-04—Подача