Пневматическая форсунка для распыления жидкости Советский патент 1990 года по МПК B05B7/28 B05B1/04 

Изобретение относится к распылению жидкостей вязкостью от 0,5 до 1,5 мПа-с с помощью газообразной среды и может быть использовано преимущественно в процессах, где требуется получение широкого факела распыленной жидкости при малых давлениях как жидкости, так и газообразной среды, используемой для распыления, например при опера.ции проявления скрытого изображения в процессах фотолитографии.

Цель изобретения - повышение равномерности заполнения плоского факела распыла и уменьшение трудоемкости изготовления форсунки.

На фиг.1 представлена форсунка, общий вид (фронтальный); нафиг.2-тоже, вид сбоку; на фиг.З - насадка, разрез.

Предлагаемая форсунка состоит из кор- пуса 1, в котором выполнен канал 2 для подвода жидкости к выходной насадке 3, и корпуса 4, в котором при помощи винта 5 закрепляется выходная газовая насадка 6. : Корпус 1 фиксируется в корпусе 4 винтом 7.

Насадки каналов выполнены в виде цилиндрических трубок со сплющенными до ; овальной формы концами, причем малая ось озалз составляет 0,25-0,35 диаметра труб- ки, длина овальной части трубки вдоль ее .,: оси не превышает 2-2,5 длин малой оси овала, а расстояние от торца трубки до ее цилиндрической части равно 1,5-1,8 внутреннего диаметра трубки. Насадки располо- жены так, что зазор между ними не превышает половины диаметра насадки, а

о

о %s

W

угол между плоскостями больших осей ова- л|ов насадок равен 90°.

Пневматическая форсунка работает dлeдyющим образом.

: Сжатый газ поступает в насадку 6 и за с|чет геометрии ее выходного конца вырыва- б|тся наружу в виде плоского клинообразно- rjo факела. Так как плоскость этого факела совпадает с плоскостью торца насадки 3, сидкость из последней захватывается газо- t ым потоком и распыляется им. Кроме того, насадка 3 расположена так, что края большой оси овала насадки совпадают с грани- 1|1ами газового факела, вследствие чего )Цидкость равномерно распределяется по ||иирине факела.

: При изменении соотношений размеров пыходных насадок качество распыла значительно ухудшается. Так, при увеличении длины сплющенной части насадки (I ,2,5 а) 1/ли расстояния от торца насадки до цилиндрического участка трубки (J- 1,8d) газовый факел сужается, что приводит к образованию узкого, сильно бьющего факела распы- la с крупными каплями на его периферии, ри уменьшении расстояния от торца до .илиндрической части трубки (L 1,5d) газо- 1ЫЙ факел расширяется, что приводит к не- 1авномерности распределения жидкости в |акеле распыла. Аналогичная ситуация возникает при увеличении зазора между насадками 3 и 6.

1 Равномерность факела распыла опре- |делялась косвенным путем по результатам Проявления фоторезиста на полупроводни- овой пластине.

При необходимости уменьшить ширину факела и увеличить размер капель жид кости IB факеле достаточно развернуть насадку 6

относительно ее оси, одновременно увеличив зазор между насадками 3 и 6. Таким образом можно уменьшить ширину факела распыла в 2-3 раза от максимальной величины.

Предлагаемая плоскофакельная пневматическая форсунка позволяет при низких давлениях рабочих сред равномерно наносить технологические жидкости на обрабатываемые поверхности и имеет при этом низкую трудоемкость изготовления. Формул а изобретени я

1.Пневматическая форсунка для распыления жидкости, содержащая корпус с каналами для подвода газа и жидкости, выходные насадки которых размещены перпендикулярно друг другу, отличающая- с я тем, что, с целью повышения равномерности заполнения плоского факела распыла

и уменьшения трудоемкости изготовления форсунки, каждая насадка выполнена в виде цилиндрической трубки со сплющенным до овальной формы концом, причем малая ось овала составляет 0,25-0,35 внутреннего

диаметра трубки, длина овального участка трубки не более 2-2,5 длин малой оси овала, расстояние от торца трубки до начала цилиндрической части равно 1,5-1,8 внутреннего диаметра трубки, при этом угол между

плоскостями больших осей овалов насадок равен 90°, а зазор между насадками не превышает половины внутреннего диаметра насадки.

2.Форсунка по п.1, о т л и ч а ю щ а я- с я тем, что, с целью обеспечения возможности регулирования ширины плоского факела и его дисперсности, насадки установлены с возможностью перемещения относительно друг друга и фиксации их положения.

Изобретение относится к области распыления жидкостей вязкостью от 0,5 до 1,5 мПа с помощью газообразной среды и может быть использовано преимущественно в процессах, где требуется получение широкого факела распыленной жидкости при малых давлениях как жидкости, так и газообразной среды, используемой для распыления, например, при операции проявления скрытого изображения в процессах фотолитографии. Цель изобретения - повышение равномерности заполнения плоского факела распыла и уменьшение трудоемкости изготовления форсунки. Для этого каждая насадка выполнена в виде цилиндрической трубки со сплющенным до овальной формы концом. Малая ось овала составляет 0,25-0,35 внутреннего диаметра трубки, длина овального участка трубки не более 2-2,5 длин малой оси овала, расстояние от торца трубки до начала цилиндрической части равно 1,5-1,8 внутреннего диаметра трубки. Угол между плоскостями больших осей овалов насадок равен 90°, а зазор между насадками не превышает половины внутреннего диаметра насадки. Для обеспечения возможности регулирования ширины плоского факела и его дисперсности насадки установлены с возможностью перемещения относительно одна другой и фиксации их положения. 1 з.п.ф-лы, 3 ил.

Фиг, 1

E.Z.

Фиг. 2