ИНТЕГРАЛЬНЫЙ РЕЗОНАТОР ИЗГИБНЫХ КОЛЕБАНИЙ Советский патент 1995 года по МПК H03H9/15 G01L1/10 

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при разработке устройств частотной селекции сигналов, а также частотозадающих элементов стабильных автогенераторов.

Цель изобретения снижение потребляемой мощности и расширение температурного диапазона.

На чертеже представлена конструкция интегрального резонатора изгибных колебаний.

Резонатор содержит основания 1 с консольно закрепленной на нем балкой 2, первый и второй резисторы 3 и 4, первую 5, вторую 6 и третью 7 контактные площадки съема колебаний соответственно, первую 8 и вторую 9 контактные площадки системы возбуждения, прорезь 10 и пленочный металлический электрод 11.

Резонатор работает следующим образом.

При протекании тока через пленочный металлический электрод 11 возникает сила электродинамического воздействия, пропорциональная квадрату тока и длине взаимодействующих противоположных сторон пленочного металлического электрода 11 и обратно пропорциональная расстоянию между этими сторонами. Под действием этой силы происходит отклонение балки 2 от основания 1. При подаче на контактные площадки 8 и 9 импульсного сигнала с частотой следования импульсов, равной собственной частоте балки 2, через пленочный металлический электрод 11 протекает импульсный ток, за счет которого балка начинает колебаться. Колебания балки вызывают изменение электрического сопротивления первого и второго резисторов 3 и 4 полумостовой тензосхемы, при подключении к источнику постоянного напряжения которой с контактных площадок 5, 6 и 7 съема колебаний снимается переменный электрический сигнал. Этот сигнал усиливается и преобразуется в импульсы тока усилителем-преобразователем (не показан) и подается на контактные площадки 8, 9. Поскольку сопротивление пленочного металлического электрода 11 значительно ниже, чем у нагревательных резисторов, снижается потребляемая резонатором мощность по сравнению с известными техническими решениями. Кроме того, сопротивление пленочного металлического электрода значительно в меньшей степени, чем резистивного полупроводникового нагревателя, изменяется при изменении температуры окружающей среды. Это обуславливает расширение температурного диапазона предлагаемого интегрального резонатора.

Толщина консольной балки 2 может быть отличной от толщины основания 1, а усилитель-преобразователь может быть размещен на поверхности основания 1 совместно с другими элементами резонатора в виде интегральной схемы.

Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться в устройствах частотной селекции сигналов. Цель - снижение потребляемой мощности и расширение температурного диапазона. Резонатор содержит основание 1 с консольно закрепленной на нем балкой 2, первый и второй резисторы 3 и 4 полумостовой тензосхемы, с контактных площадок 5, 6 и 7 которой снимается переменный электрический сигнал. В прорези 10 нанесен металлический электрод 11, соединенный с контактными площадками 8 и 9 системы возбуждения. При протекании тока через электрод 11 между параллельными его участками возникает сила электродинамического воздействия, что обеспечивает колебание балки 2. Малое сопротивление пленочного металлического электрода 11 обеспечивает снижение потребляемой мощности, а отсутствие его нагрева при возбуждении обуславливает расширение температурного диапазона. 1 ил.

ИНТЕГРАЛЬНЫЙ РЕЗОНАТОР ИЗГИБНЫХ КОЛЕБАНИЙ, содержащий основание с консольно закрепленной в нем балкой из монокристаллического полупроводникового материала, на одной из главных граней которой в области ее крепления размещены первый и второй резисторы, первые выводы которых соединены с первой контактной площадкой системы съема колебаний, а их вторые выводы соединены соответственно с второй и третьей контактными площадками системы съема колебаний, размещенными на одной из главных граней основания, на котором размещены первая и вторая контактные площадки системы возбуждения, отличающийся тем, что, с целью снижения потребляемой мощности и расширения температурного диапазона, основание выполнено Г-образной формы за одно целое с балкой, одна из боковых граней которой отделена от внутренней боковой грани основания прорезью, при этом система возбуждения выполнена в виде размещенного на внутренних гранях прорези пленочного металлического электрода, выводы которого соединены соответственно с первой и второй контактными площадками системы возбуждения.