Устройство для лазерного сканирования Советский патент 1991 года по МПК G02B27/48 

316494984

Изобретение относится к оптическим торых снабжена приводом и управляю- и электронно-оптическим приборам для щим блоком, что обеспечивает изменение сканирования светового луча-и может угла сканирования с большой скоростью, быть использовано в лазерных систе- с кроме того, наличие нескольких рабо- мах контроля качества материалов, i чих плоскостей создают условия раз- преимущественно, в металлургии для грузки теплового воздействия на одну бесконтактного контроля однородности плоскость, что улучшает надежность стального движущегося слитка путем эксплуатации, генерирования акустического сигнала в tO

определенных точках исследуемого ма- Формула изобретения териала с помощью лазерного излуче- 1. Устройство для лазерного скани- ния.рования, преимущественно для систем

Цель изобретения - расширение экс- контроля качества материалов, содержа- плуатационных возможностей путем обес-15. щее средство распределения пучка ла- печения вертикального фокусирования зерного источника, фокусирующую сис- лазерного излучения на исследуемую по- тему, последовательность отклоняющих верхность и повторного сканирования зеркал, закрепленных на приводах, свя- по точкам на движущейся исследуемой занных с системой управления, о т л и- поверхности, а также увеличение ско- 20 чающееся тем, что, с целью по- рости сканирования и повышение ка- выщения точности контроля путем обес- д&кности эксплуатации.печения постоянства концентрации энерНа чертеже схематически изображе- ; гии на сканируемой поверхности, фоку- но предлагаемое устройство, . сирующая система размещена перед средУстройство для лазерного сканиро- 25 ством распределения лазерного пучка, вания содержит импульсный лазер 1, а последовательность отклоняющих зерна оптической оси которого распояо- кал такая, что длина оптического пути жено средство распределения пучка ла- от фокусирующей системы до сканируе- зера, состоящее из направляющей призмы мой поверхности постоянна, при этом 2 с шаговым приводом 3 и управляющим JQ ось лазерного пучка, отраженная откло- блоком 4 в виде оптоэлектронного дат- няющими зеркалами, перпендикулярна чика и второй направляющей призмы 5 к сканируемой поверхности, с шаговым приводом 6 и таким же управ- 2. Устройство поп, 1, о т я и - ляющим блоком 7, Перед призмами 2и5 чающееся тем, что, с целью расположена фокусирующая система 8, повышения плотности энергии на скани- фокусирующая пучок 9 лазерного излуче- руемой поверхности, средство распреде- ния {на исследуемую поверхность ТО. Над ения лазерного пучка выполнено в виде исследуемой поверхностью 10 поочеред- дефлектора, связанного с приводом и но расположены плоские отклоняющие системой управления, зеркала 11 так, что длина оптического Q 3. Устройство по пп, I и 2, о т - пути от фокусирующей системы до иссле- личающееся тем, что, с це- дуемой поверхности постоянна. Плоские лью повышения надежности и быстродей- отклоняющие зеркала снабжены привода- ствия, за первым дефлектором введен ми 12, обеспечивающими перемещения по второй дефлектор, связанный с приво- координатам X и Y согласованно через 45 Д°м и системой управления, блок 13 сопряжения и блок 14 согласо- 4. Устройство по п. 1, о т л и- вания с поворотом направляющей приз- чающееся тем, что, с целью мы 5.расширения функциональных возможносСредство распределения лазерного тей, приводы отклоняющих зеркал вы- пучка выполнено в виде двух поворот- Q полнены в виде двухстепенных поворотных направляющих призм, каждая из ко- , ных устройств,

Составитель И. Форма шок

Редактор Л. Пчолинская Техред л.Сердюкова Корректор А. Обручар

Заказ 1521, Тираж 341Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к оптико- электронным системам. Целью изобретения является повышение точности контроля путем обеспечения постоянства концентрации энергии на исследуемой поверхности. Устройство для лазерного сканирования состоит из лазера 1, средства распределения лазерного пучка, содержащего дифлекторы 2 и 5, связанные с приводами 3 и 6 и с блоками 4,7,14, фокусирующую систему 8, отклоняющие зеркала tl, связанные с приводами 12 и системой 13 управления.Отличием системы является то, что отклоняющие зеркала расположены так, что длина оптического пути от фокусирующей системы до исследуемой поверхности постоянна, а ось лазерного пучка после отражения от отклоняющего зеркала перпендикулярна исследуемой поверхности, что позволяет повысить качество контроля. Кроме того, система распределения лазерного пучка выполнена в виде двух дифлекторов, что повышает скорость и надежность работы. 3 з.п. ср-лы, 1 ил. (Л с