Волноводная измерительная секция Советский патент 1991 года по МПК G01B15/00 

ИзоОретенне относится к магнитной СВЧ-электронике и может быть использовано для нерязрушающего локапьного контроля качества лагнигных структур.

Целью изобретения является обеспечение локального исразрушаыщего контроля качества планарных мапшт- ных структур и повышеште точности измерений та счет исключения необходимости разрезания структуры ня отдельные элементы и устранения погрешности установки открытого т,пэлектричег- кого резонатора.

1а фиг. 1 представлена измерительная волноводная секция; на Лиг. 2 - прижимной элемент.

Измерительная волноводная секция содержит (Ли. 1) отрезок 1 СВЧ-волновода прямоугольного сечения, на широкой стенке которого выполнена продольная щель 2, открытый диэлектрический резонатор 3 г прижимным элементом 4. Прижимной - лемент 4 (пиг. 2) состоит из К .1,ч ;сналы;о установленных с возможностью перемещения друг относительно дпчтл днух

С&

I

оь

диэлектрических стаканов 5 и 6 с отверстиями в дне, диэлектрической пружины 7 и размещенной в отверстиях стаканов 5 и 6 и пружины 7 тяги 8. Открытый диэлектрический резонатор 3 закреплен в полости внутреннего стакана 5 и связан с одним концом тяги 8.

Устройство работает следующим об- разом.

Планарная магнитная структура (не показана) погружается в продольную щель 2 отрезка 1 СВЧ-волновода, при помощи прижимного элемента 4 торцова поверхность диэлектрического резонатора 3 прижимается к поверхности планарной структуры. 1Цель 2 выполнена по оси вдоль широкой стенки отрезка 1 СВЧ-волновода. Такая щель является неизлучающей для волны типа и не возмущает распределение СВЧ-поля в отрезке 1 СВЧ-волновода. При переходе от одного измерения к другому диэлектрический резонатор 3, закрепленный в стакане 5, отжимается при помощи 8 от исследуемой структуры, которая после этого перемещается для исследования следующего участка относитель- но резонатора 3, затем тяга 8 отпускается и прижимной элемент 4 прижимает резонатор 3 к следующему учаску исследуемой структуры. Затраты времени па переход от одного измере- ния к другому минималь ш. Перемещение диэлектрического т зонатора 3, закрепленного в стака .е 5, производится в стакане 6, чг i обеспечивается точное повторение :оложения резо- натора 3 в отрезке ВЧ-волновода, что, в свою очеред обеспечивает повышение точности и «I эений. Применение диэлектрического резонатора 3 бе внутреннего отверстия позволило по- высить локальность измерений (так как при фиксированной частоте накачки размеры диэлектрического резонатора 3 без внутреннего отверстия меньше, чем размеры диэпектрического резонатора с внутренним отверстием). При достижении порогового уровня hn

прямоугольные СВЧ-импу льсы, провзаи- модействовавшие с исследуемой магнитной структурой в месте ее контак- тч с торцовой поверхностью открытого диэлектрического резонатора 3, искажаются (появляется скол).

Параметр затухания спиновых волн АН определяется по Формуле

АН -h«4M/l UMK

где 4 n il - намагниченность насыщения; У - гиромагнитное отношение; 6)0- частота накачки. Перемещая планарную структуру относительно диэлектрического резонатора 3, производят локапькое измерение всей поверхности.

Формула изобретения

1 . Волноводная измерительная секция содержащая отрезок СВЧ-волновода прямоугольного сечения и открытый диэлектрический резонатор, расположенный в центре отрезка волновода, о т - л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью обеспечения локального неразрушающего контроля качества планарных магнитных структур и повышения точности измерений, она снабжена прижимным элементом, закрепленным на узкой стенке СВЧ-волновода, на широкой стенке которого выполнена щель, а открытый диэлектрический резонатор закреплен на прижимном элементе с возможностью его перемещения в направлении, перпендикулярном поверхности узкой стенки СВЧ- волновода.

2, Секция по п,1, отличающаяся тем, что прИАнмной элемент выполнен в виде коаксиально установленных с возможностью взаимного перемещения двух диэлектрических стаканов с отверстиями в дне, размещенной между дном внешнего и внутреннего стаканов диэлектрической пружины и размещенной в отверстиях стаканов и пружины гяги, а открытый диэлектрический резонатор закреплен в полости внутреннего стакана, который связан с одним концом тяги.

Изобретение относится к магнитной СВЧ-электронике и может быть использовано для неразрушающегося локального контроля качества магнитных структур. Цель изобретешь - обеспечение локального неразрушающего контроля качества планарных магнитных структур и повышение точности измерений. Для этого волноводная измерительная секция, содержащая отрезок СВЧ-нолновода прямоугольного сечения и открытый диэлектрический резонатор, снабжена прижимным элементом, закрепленным на узкой стенке СВЧ-волновода, на широкой стенке которого выполнена щель. Открытый диэлектрический резонатор закреплен на прижимном элементе с возможностью его перемещения в направлении, перпендикулярном поверхности узкой стенки СВЧ-волновода. При переходе от одного измерения к другому резонатор отжимается при помощи тяги от исследуемой структуры, которая после этого перемещается для ис- следова шя следующего участка относительно резонатора. Затем тяга опускается и прижимной элемент прижимает резонатор к следующему участку исследуемой структуры. 2 ил. (Л

3 S ff Г &

1 ч X fcT f

V////////,

Зкг. 2