Вакуумметр Советский патент 1991 года по МПК G01L21/24 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вязкостным манометрам, и может быть использовано при измерении низких давлений в диапазоне 10- Па.

Целью изобретения является повышение точности измерения давления.

На чертеже представлена принципиальная схема вакуумметра.

Вакуумметр содержит корпус 1 , намагниченный первый ротор 2 в форме шара, постоянный магнит 3 - источник уравновешивания веса ротора, устройство для вращения ротора, выполненное в виде индуктора 4, плоские параллельные диамагнитные пластины 5 с полусферическими проточками, выполненными в их теле. Между источником уравновешивания веса ротора и устройством для вращения ротора устанавливается дополнительный намагниченный ротор-эквивалент 6, экранированный с

двух сторон плоскими диамагнитными пластинами 7. Вакуумметр содержит также устройство 8 для измерения скорости вращения ротора-эквивалента 6 и демпферное устройство, состоящее из стальной иглы 9, поплавка 10 и стакана с легким маслом 11.

Вакуумметр работает спедующим образом.

Корпус вакуумметра 1 герметически соединяется с объектом, в котором необходимо измерить давление. При этом давление в корпусе 1 и объекте становится одинаковым. С помощью источника уравновешивания веса ротора приводят ротор 2 и ротор-эквивалент г 6 во взвешенное состояние. При этом роторы 2 и 6 левитируют в пространстве без всякого подвода энергии извне за счет компенсации их веса постоянным магнитом 3. Стабилизация вертикального положения ротора 2 и ротораS

сл го

эо

Јь

эквивалента 6 достигается с помощью двух пар плоских параллельных диамагнитных пластин 5 и 7 соответственно. Ротор 2 и ротор-эквивалент 6 разго- няются одновременно с помощью вращающегося магнитного поля, созданного специальной обмоткой индуктора 4, после чего он отключается.

При этом в процессе работы благода ря магнитной связи между ротором 2 и ротором-эквивалентом 6 скорости их вращения будут равны, а поскольку размеры ротора-эквивалента 6 на порядок меньше по сравнению с ротором 2, то его вращение не оказывает влияния (в пределах точности измерений) на скорость вращения ротора 2. Измерение скорости вращения ротора-эквивалента 6 осуществляется при помощи специаль- но го оптического устройства 8 с источником света и фотоумножителем.

Таким образом, предложенное уст- |ройство позволяет повысить герметич- ность конструкции за счет того, что устройство для измерения скорости вращения ротора не связано с рабочей камерой, что уменьшает искажение давления в измеряемой системе за счет самого вакуумметра. Это достигается введением в конструкцию ротора-эквивалента, расположенного вне рабочей зоны, но благодаря магнитному полю, имеющему скорость вращения, равную скорости вращения основного ротора, обеспечивается повышение точности измерения давления в измеряемой системе .

Формула изобретения

Вакуумметр, содержащий корпус, в котором свободно подвешен первый сферический намагниченный ротор, размещенный вне корпуса источник уравновешивания веса ротора, выполненный в виде постоянного магнита, индуктор электромагнитной раскрутки ротора с двумя электромагнитными обмотками, оптическое устройство для измерения скорости вращения ротора, выполненное в виде источника света и фотоумножителя, и демпфер, причем ротор экранирован с двух сторон плоскими диамагнитными пластинами, в которых выполнены две полусферические проточки под ротор, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения точности измерения давления, он снабжен дополнительным сферическим намагниченным ротором, экранированным с двух сторон дополнительными плоскими диамагнитными пластинами с полусферическими проточками под ротор, размещенным между постоянным магнитом и электромагнитной обмоткой индуктора, при этом между дополнительными плоскими диамагнитными пластинами образован зазор, а источник света и фотоумножитель расположены напротив упомянутого зазора с возможностью освещения и приема отраженного от поверхности дополнительного сферического ротора пучка света, при этом диаметр дополнительного сферического ротора не менее, чем в 10 раз меньше диаметра первого сферического ротора.

HI13

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при измерении дагления в диапазоне 1Q-2 . Целью изобретения является повышение точности измерения давления. Цель достигается тем, что устройство снабжено дополнительным намагниченным ротором-эквивалентом 6, экранированным с двух сторон плоскими диамагнитными пластинами 7, по скорости торможения которого после раскручивания определяется величина давления в вакуумной системе. 1 ил.

Hl-I-IB

-77 -9 ff