Устройство для рентгеновского спектрального анализа Советский патент 1991 года по МПК G01N23/223 

Изобретение относится к рентгеноспек- тральным приборам для анализа и может быть использовано для определения элементного состава вещества.

Цель изобретения - повышение производительности и точности анализ-, уменьшение объема вакуумирования.

На фиг.1 приведена схема расположения парных каналов в корпусе спектрометрического устройства; на фиг.2 - конструкция парного канала рентгеновского спектрометра.

Исследуемый образец 1, имеющий плоскую поверхность, размещен в вакуумном корпусе 2 спектрометрического устройства, на корпусе укреплены парные каналы 3. Парные каналы 3 рентгеновского спектрометра установлены так, что соответствующие входные щели 4 и 5, кристаллы-анализаторы 6 и 7, выходные щели 8 и 9,

а также детекторы 10 и 11 лежат в радиальных плоскостях круга, пересекающихся на линии, перпендикулярной плоскости образца. Источник 12 рентгеновского излучения установлен в верхнем отверстии вакуумного корпуса 2 через уплотнение. Крепление вакуумных парных каналов к наружной поверхности корпуса 2 осуществляется двумя подпружиненными зажимами 13 и 14. Первый вакуумный канал позволяет анализировать два определенных химических элемента и состоит из двух разделенных одиночных каналов, заключенных в единый вакуумный корпус 15. Корпус парного вакуумного канала состоит из двух вакуумных защитных кожухов 16 и 17. В каждом кожухе на соответствующих линиях 18 и 19 на фиксированных расстояниях от центра исследуемого образца установлены на осях кристаллы-анализаторы. Оси через вакуумОся о

00

о о

ные уплотнения выведены наружу корпуса вакуумного канала с противоположных сторон. Возможна группировка двух любых одиночных каналов в парный без ограничения вследствие расположения кристаллов- анализаторов на соответствующих линиях на любых фиксированных расстояниях от центра исследуемого образца. К корпусу 15 крепятся входные щели 4 и 5 с разными сечениями для прохождения определенного для каждого анализируемого элемента пучка флуоресцентного излучения. К фланцам 20 и 21 крепятся выходные щели 8 и 9 с разными сечениями для прохождения ограниченного для каждого анализируемого элемента пучка излучения, исходящего от кристалла-анализатора. Фланцы вместе с выходными щелями и расположенными за ними детекторами могут перемещаться в направлении .поперечном соответствующему лучу. Точная регулировка угла падения флуоресцентного излучения на кристалл- анализатор осуществляется винтом 22. который перемещается в цанге 23, расположенной в корпусе парного канала.

Устройство работает следующим образом.

Первичное излучение, проходящее через окно рентгеновской трубки, падает на исследуемый образец 1. Рентгеновское флуоресцентное излучение, исходящее от исследуемого образца через входные щели 4 и 5 парного канала, попадает на кристаллы- анализаторы 6 и 7, после дифракции вторичные лучи проходят через выходные щели 8 и 9 и регистрируются с помощью детекторов 10и11.

Благодаря расположению каждого канала в отдельном вакуумном объеме неиспользованное флуоресцентное излучение образца не попадает на кристаллы-анализаторы каналов устройства после рассеяния на деталях устройства. Это снижает фон в каналах устройства, что ведет к повышению точности анализа. Увеличение числа одновременно анализируемых элементов повышает производительность анализа, более плотное расположение каналов стало возможным благодаря исключению фона

от неиспользованного флуоресцентного излучения.

С целью уменьшения объема вакууми- рования вакуумный корпус можно выполнить в виде усеченной пирамиды, в пазу

каждой грани которой закреплены пары защитных корпусов измерительных каналов. Защитные кожухи при этом располагают снаружи вакуумного корпуса.

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

1. Устройство для рентгеновского спектрального анализа, содержащее полый вакуумный корпус, в котором размещены держатель образца, источник первичного

рентгеновского излучения, ось пучка излучения которого направлена перпендикулярно рабочей поверхности держателя образца, измерительные каналы, расположенные в плоскостях, пересекающихся по

линии, совпадающей с осью пучка первичного рентгеновского излучения, причем измерительные каналы закреплены на поверхности вакуумного корпуса парами, отличающееся тем, что, с целью

повышения производительности и точности анализа, каждый измерительный канал размещен в отдельном вакуумном защитном кожухе, закрепленном на поверхности вакуумного корпуса.

2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с я тем, что, с целью уменьшения объема вакуумирования, вакуумный корпус выполнен в виде усеченной пирамиды, на каждой грани которой закреплены вакуумные защитные корпуса измерительных каналов, а источник рентгеновского излучения закреплен на верхнем основании, причем источник рентгеновского излучения и защитные кожухи расположены с внешней стороны вакуумного корпуса.

Фиг-f

ю

Изобретение относится к области рентгеноспектральных методов анализа и может быть использовано для определения элементного состава вещества. Цель изобретения - повышение производительности и точности анализа, уменьшение объема ваку- умирования. Устройство содержит вакуумный корпус и расположенные в нем держатель образца и источник рентгеновского излучения. 8 вакуумном корпусе закреплены парами вакуумные защитные кожухи измерительных каналов. Измерительные каналы размещены в плоскостях, пересекающихся на линии, совпадающей с осью пучка первичного рентгеновского излучения и перпендикулярной поверхности образца. 1 з.п.ф-лы, 2 ил. Ё

Фиг. 2

20