МНОГОСЛОЙНЫЙ ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК Э.Д.С. ХОЛЛА Советский патент 1964 года по МПК H01L43/04 

В основном авт. св. № 119556 описан многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла, выполненный из напыленных в вакууме чередующихся слоем полупроводникового и изоляционного материалов. При параллельном питании элементарных датчиков, образованных напыленными слоями полупроводнике вого материала, от одного источника возможно их закорачивание, а многослойный датчик требует применения термостабилизации и может быть использован только при переменных магнитных полях и токах.

Предложенный датчик является дальнейшим развитием датчика, приведенного в основном авторском свидетельстве, и допускает использование параллельного питания, не требует стабилизации и может использоваться как при переменных, так и при постоянных магнитных полях н токах. Это достигнуто включением в цепь токовых электродов балластных сопротивлений, изготовлением элементарных датчиков из полупроводникоЕого материала с одним типом проводимости и последовательным соединением элементарных датчиков в цепи Холла.

Конструкция многослойного датчика, состоящего из двух элементарных пленочных датчиков, изображена на чертеже.

кую пленку полупроводникового материала с проводимостью типа п, снабжен включенным в цепь токовых электродов 2 балластными сопротивлениями 3, выполненными в виде пленки высокоомного сплава, нанесенной на концы датчика. При изготовлении балластных сопротивлений из материала, обладающего малым температурным коэффициентом сопротнвления, повышается температурная стабильность датчика. Все элементарные датчики в цепи Холла соединены между собой последовательно при помощи токопроводящих перемычек 4 и подключены к Холловским электродам 5. Вольтовая чувствительность многослойного датчика в п раз превосходит чувствительность однослойного датчика, где я - число элементарных датчиков, образующих многослойный датчик. Входное сопротивjeHHe многослойного датчика в п раз больше, тем у однослойного. Коэффициенты передачи многослойного и однослойного датчика одинаковы.

Предмет изобретения

Многослойный нленочный датчик э.д.с. Холла, выполненный но авт. св. ° 119556, отличающийся тем, что, с целью устранения закорачивания при параллельном питании от одного источника элементарных датчиков, образованных слоями полупроводникового материала, повышения температурной стабильности многослойного датчика и использования его как при постоянном, так и при переменных магнитных полях и токах, в цепь токовых электродов датчика включены балластные сопротивления, изготовленные, например, напылением в вакууме пленки высокоомного сплава, все элементарные датчики изготовлены из полупроводникового материала одного типа проводимости и соединены в цепи Холла последовательно посредством токопроводящих перемычек.