Многослойный пленочный датчик Э.Д.С. Холла Советский патент 1959 года по МПК H01L43/06 

Известные датчики, оеиованиые на эффекте Холла, имеют малую вольтовую чувствительность.

Для иовышения его чувствительности приходится увеличивать ширину датчика, что не всегда возможно.

Предлагаемый многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла нозволяет значител зно увеличить вольтовую чувствительность при малой ширине, что обеспечивает возможность установки его в малые зазоры.

Многослойный датчик представляет собой батарею нолупроводниковых пленочных датчиков, соединенных между собой последовательно по отношению к э.д.с. Холла.

С целью получения небольших габаритов и возможности измерения нанряженности ноля Н в заданном месте, он выполняется в виде чередующихся плепок полупроводников с различными типами проводимости, разделенных диэлектрическими пленками, которые, как и полупроводниковые, наносятся одна на другую запылеиием в вакууме на диэлектрическую подкладку. К этой подкладке крепятся электроды, по которым подводится и отводится ток / и электроды, с которых спимается результирующая э.д.с. Холла V,,,, .

На схеме показано соединение слоев датчика.

Предмет изобретения

Многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения его чувствительности при сохранении малого размера в направлении э.д.с. , он изготовляется в виде чередуюшихся нескольких слоев двух различных полупроводш ков, имеющих чередующийся знак проводимости, разделеиных диэлектрическими пленками, причем слои по отиошению тока, протекающего через них, соединяются параллельно, а по отношению к э.д.с. Холла-последовательно.