МНОГОСЛОЙНЫЙ ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК Э.Д.С. ХОЛЛА Советский патент 1966 года по МПК G01R21/08 

В авт. св. № 119556 описан многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла, выполненный из чередующихся слоев полупроводников с различным знаком проводимости, разделенных диэлектрическими пленками. Слои по отношению к току, проходящему через них, соединены параллельно, а по отношению к э.д.с. Холла - последовательно.

Подобные датчики не могут быть использованы для измерения мощностей в диапазоне высоких частот вследствие закорачивания э.д.с. Холла отдельных слоев через общий токовый электрод.

В предлагаемом датчике, являющемся усоверщенствованным вариантом датчика по авт. св. № 119556, с целью использования его для измерения мощностей в диапазоне высоких частот Б цепях, соединяющих отдельные слои датчика, параллельно по отношению к управляющему току включены конденсаторы, напыленные токовыми электродами соседних слоев.

Па фиг. 1 изображена электрическая схема датчика; на фиг. 2 - его общий вид.

Слои / датчика Холла соединены по отношению к э.д.с. Холла последовательно, а по отнощению к управляющему току - параллельно. В цепи, соединяющие слои, параллельно по отношению к управляющему току включены конденсаторы 2. При этом устраняется закорачивание постоянной составляющей э.д.с. Холла, уменьшается потребляемая датчиком активная мощность и обеспечивается использование его для измерения мощности в диапазоне высоких частот.

Слои / изготовляют напылением полупроводникового материала в вакууме. Между слоями нанесены изоляционные пленки 3. Па участок токовых электродов 4 наносят диэлектрик 5, обладающий большой диэлектрической проницаемостью. Между пленками диэлектрика напыляют токовые электроды, которые будут соединены параллельно конденсаторами 2, образованными емкостью, создаваемой токовыми электродами, разделенными диэлектриком 5. Холловские электроды 6 соединены последовательно посредством д1еталлических перемычек 7. Размещается датчик на слюдяной подложке 8. Суммарная э.д.с.

Холла измеряется прибором постоянного тока, а перелшнная составляющая закорачивается через конденсаторы 2, которые закорачивают также э.д.с., обусловленную неэквипотенциальностью элементов датчика.

25

Предмет изобретения