Способ измерения толщины слоев многослойных изделий Советский патент 1991 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для контроля толщин слоев, выполненных из диэлектрических материалов, в многослойных изделиях.

Целью изобретения является повышение точности измерения, которая достигается за счет обеспечения соосного размещения преобразователя над межслой- ным элементом в процессе контроля.

На чертеже показан возможный вариант реализации способа измерения толщины слоев многослойных изделий, где приняты следующие обозначения: 1 - изделие, 2 - межслойные элементы, 3 - вихрето- ковый преобразователь, 4 - индикатор ; межслойные элементы 2 выполнены из проводящего материала в виде шайбы (кольца).

Способ реализуется следующим образом.

При изготовлении изделия 1 межслойные элементы 2 в виде шайб размещают на поверхности очередного слоя, размеченного в соответствии со схемой измерения толщины, перед изготовлением следу ющего слоя так, чтобы середина межслойного элемента 2 совместилась с размеченной точкой После изготовления изделия 1 проводят разметку его наружной поверхности в соответствии со схемой измерения толщины слоев. На поверхности изделия 1 располагают вихрето- ковый преобразователь 3 над междлойным элементом 2 и перемещают преобразователь 3 по поверхности изделия 1 относительно межслойного элемента 2 в двух взаимно перпендикулярных направлениях, регистрируя на индикаторе 4 экстремальное значение сигнала, которое соответствует совмещению оси АА1 преобразователя 3 с осью ВВ1 межслойного элемента 2 (I 0).

О

о ел

го

N3

По полученному экстремальному значению сигнала, являющемуся информационным параметром, определяют толщину контролируемого слоя изделия 1.

Формула изобретения Способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают межслойные элементы, выполненные из проводящего материала, над одной из поверхностей изделия над

0

межслойным элементом располагают вих- ретоковый преобразователь и по параметру сигнала этого преобразователя определяют толщину слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, используют межслойные элементы, выполненные в виде шайбы, вихретоковый преобразователь перемещают относительно межслойного элемента, а в качестве информационного параметра сигнала используют его экстремальное значение.

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для контроля толщины слоев, выполненных из диэлектрических материалов в многослойных изделиях. Целью изобретения является повышение точности измерения. Способ реализуется следующим образом. При изготовлении изделия 1 между его слоями размещают межслойные элементы 2, выполненные в виде шайбы. Элементы 2 размещают согласно определенной схеме. После изготовления изделия 1 приводят разметку его наружной поверхности в соответствии с указанной схемой. Размещают на поверхности изделия 1 преобразователь 3 и перемещают его над межслойными элементами 2, регистрируя на индикаторе 4 экстремальное значение сигнала преобразователя 3. Экстремальное значение сигнала является информационным параметром, по которому и определяют толщину контролируемого слоя изделия 1. 1 ил.