Криогенный вакуумный насос Советский патент 1981 года по МПК F04B37/08 

(54) КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике. Известен криогенный вакуумный насос, содержащий криогенератор и присоединенные к нему при помощи тепловых мостов криопанели и теплозащитный экран JI. В известном насосе передача холода к криопанелям и экрану осуществляется от криогенератора за счет теплопроводности материалов, из которых изготовлены экран и криопанели. Вследствие постоянного действня тепловых нагрузок на экран и криопаиели их поверхности охлаждаются неравно мерно по всей площади. Наиболее удаленные участки экрана и криопанелей имеют температуру на 10-20 К выше по сравнению с участками, расположенными в непосредственной близости к холодным фланцам крио генератора. Таким образом, существует боль шой градиент температур на охлаждаемых поверхностях. По этой причине понижается эффективность теплозащитного экрана и уменьшается активная площадь конденсации криопанелей и, как следствие, снижается быстрота откачки насоса. Цель изобретении - повышение быстроты действия вакуумного насоса. Указанная цель достигается тем, что крио панели и тепловой мост экрана выполнены в виде тепловых труб, причем тепловые трубы экрана присоединены к его периферийной части. На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез. Криогенный вакуумный насос содержит криогенератор 1 и присоединенные к нему при помощи тепловых мостов криопанели и теплозащитный экран 2. Криопанели и тепловой мост экрана выполнены в виде тепловых труб 3 и 4 , причем тепловые трубы 4 экрана 2 присоединены к его периферийной части. Криопанели и защитный экран контактируют с охлаждаемыми фланцами 5 и 6 криогенератора 1. Внутренние поверхности тепловых труб 3 и 4 покрыты адсорбентом 7. При работе криогенератора 1 происходит охлаждение теплозащитного экрана 2 и тепловых труб 3 и 4. Газы, заполняющие тепловые трубы 3 и 4, конденсируются в зоне фланцев 5 и 6, имеющих наиболее низкую температуру, и под действием капиллярных сил движутся вдоль внутренних стенок к удаленным участкам криопанелей и теплозащитного экрана 2 и охлаждают их. При