Стекло Советский патент 1991 года по МПК C03C3/64 C03C10/00 

Изобретение относится к технологии силикатов, к производству кристаллизирующегося бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве ситалло- цемента для межслойной изоляции толстопленочных микросхем.

Цель изобретения - повышение кристаллизационной способности и температуры размягчения, улучшение водоустойчивости стекла.

Синтез стекол осуществляют в газовой или электрической печи при 1300 ±20°С. При указанном режиме стекло хорошо варится и осветляется и может быть использовано для изготовления различных изделий технического назначения методами отливки, прессования и изготовления гранулята. При выработке стекло не кристаллизуется.

Конкретные составы стекла и их свойства приведены в таблице.

Использование данного етекла в толстопленочной микроэлектронике для межслойной изоляции толстопленочных элементов

позволяет получить влагостойкие изоляционные слои с удельным электрическим со противлением не ниже 101 Ом tg д 18 10 , удельной емкостью 160 пФ/см, пробивным напряжением при толщине диэлектрика мкм выше 600 В устойчивых к циклическому воздействию температур и электрической нагрузки, что свидетельствует о перспективности использования этого стекла для диэлектрических паст Формула изобретения Стекло, включающее 5Ю2 А120з ВаО, 1п2Оз, отличающееся тем, что. с целью повышения кристаллизационной способности и температуры размягчения, улучшения водоустойчивости, дополнительно содержит ТЮ2 при следующем соотношении компонентов, мас.%

Si02500-12,00

В20з30,00-34,00

А120з18,00-20,00

ВаО27 00-31 00

1п20з4 00-5,00

ТЮ25 00-8,00

(Л

С

Ј

Ю 00 00 О

Химические составы и основные свойства стекол

Изобретение относится к технологии силикатов, к производству кристаллизующегося бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве ситаллоцемента для межслойной изоляции толстопленочных микросхем. С целью повышения кристаллизационной способности и температуры размягчения, улучшения водоустойчивости стекло включает следующие компоненты, мас.%: SIO₂ 5,0 - 12,0

B₂O₃ 30,0 - 34,0

AL₂O₃ 18,0 - 20,0

BAO 27,0 - 31,0

IN₂O₃ 4,0 - 5,0

TIO₂ 5,0 - 8,0. Стекло кристаллизуется в интервале температур 750 - 900°С, имеет температуру размягчения 620 ± 10°С, водоустойчивость 99,0 - 99,5%. 1 табл.

ZrOj

Кристаллизационная способность (с) и характер кристаллизации в температурном интервале обжига микросхем

Повеление стекол на подложке из керамики 22ХС при 850°С

Температура размягчения, С

Термический коэффициент линейного расширения (с( х 10 ),

600-1000 600-1000 600-tOOO f 6(10-1000 600-1000 600-1000 В температурном интервале 750-900 С стекла кристаллизуются с образованием хорошей мелкокристаллической структуры и достаточным количеством стеклоЛаэы лля обеспечения растекания и адгезии закристаллизованного материала к по;1ложке

Закристаллизованные с хорошей ра текяемость и алгезней к подложке покрытия, без трещим.

620 t 10

620 1 10

620 10

620 t 10

620 t 10

620 10

620 10

620 t 10

620 t 10

620 10