Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта Советский патент 1991 года по МПК G01B11/30 

Описание патента на изобретение SU1670394A1

о VI о

со ю

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов.

Цель изобретения - обеспечение возможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема рефлектометра, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

Устройство содержит источник излучения (не показан), столик 1, предназначенный для размещения на нем эталонного объекта (не показан), столик 2, предназначенный для размещения на нем контролируемого объекта (не показан), зеркала 3 и 4, фотоприемник 5, поляризаторы 6 и 7, зеркала 8 - 11. Гониометр включает столики 1 и 2, 00 - ось вращения гониометра. Модулятор включает зеркала 3 и 4, которые кинематически связаны между собой. Плоскости поляризации поляризаторов б и 7 взаимно перпендикулярны и установлены так, что одна из них размещена в плоскости, перпендикулярной плоскости столика 1. а другая - в плоскости горизонтально расположенного столика 2.

Рефлектометр работает следующим образом.

Направленное вдоль оси 00 излучение попадает на зеркало 3, при вращении которого вокруг оси, перпендикулярной оси 00 , излучение поочередно направляется либо на столик 1, либо на столик 2, а затем, после отражения от эталонного и контролируемого объектов и соответственно зеркал 10 и 11, направляется на зеркало 4, направляющее поочередно (вследствие кинематической связи с зеркалом 3) излучение либо от эталонного, либо от контролируемого объекта к фотоприемнику 5, где регистрируемый сигнал переменного тока (напряжения) прямо пропорционален уровню различия коэффициентов отражения в р-поляризации для контролируемого объекта и s-поляриза- ции для эталонного объекта. Поскольку плоскости поляризации поляризаторов б и 7

взаимно ортогональны, то при их повороте на 90° вокруг оси пучка излучения, направления плоскостей поляризации отраженного от эталонного и контролируемого объектов

излучения меняются местами и регистрируемый на фотоприемнике 5 сигнал переменного тока (напряжения) соответствует уровню различия коэффициентов отражения в р-поляризации для эталонного объекта и s-поляризации для контролируемого объекта. По разности величин сигналов перемен ного тока, полученной в результате размещения в указанных двух азимутальных положениях поляризаторов 6 и 7, отличающихся на 90°,

определяют величину расхождения параметров поверхности контролируемого объекта по отношению к эталонному.

С помощью рефлектометра можно измерить комбинированные поляризационные

параметры поверхностей как жидких, так и твердых объектов плоской формы.

Формула изобретения Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта, содержащий источник излучения, установленные по ходу излучения гониометр, включающий столики, предназначенные для размещения на них соответственно эталонного и контролируемого объектов, модулятор и фотоприемник, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов, он снабжен двумя поляризаторами со взаимно перпендикулярными направлениями поляризации, одно из которых параллельно плоскости столика, предназначенного для размещения на нем эталонного объекта, а другое - параллельно плоскости, перпендикулярной плоскости столика, предназначенного для размещения на нем контролируемого объекта, и четырьмя плоскими зеркалами, установленными попарно

по обе стороны от каждого столика, а модулятор выполнен в виде двух пар плоских зеркал, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал и кинематически связанных между собой.

Ф

фиг.1

Похожие патенты SU1670394A1

название год авторы номер документа
Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности деталей 1990
  • Дрозд Петр Иосифович
  • Поперенко Леонид Владимирович
  • Шайкевич Игорь Андреевич
SU1712781A1
Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности плоских деталей 1987
  • Дрозд Петр Иосифович
  • Поперенко Леонид Владимирович
  • Шайкевич Игорь Андреевич
SU1649263A1
Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности деталей 1987
  • Дрозд Петр Иосифович
  • Поперенко Леонид Владимирович
  • Шайкевич Игорь Андреевич
SU1499114A1
Рефрактометр для анизотропных кристаллов 1982
  • Рокос Иржи Антонович
SU1100541A1
ИЗОБРАЖАЮЩИЙ МИКРОЭЛЛИПСОМЕТР 2010
  • Индукаев Константин Васильевич
  • Осипов Павел Альбертович
RU2503922C2
Устройство для измерения поляризационных характеристик анизотропных сред 1982
  • Рокос Иржи Антонович
SU1021959A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТА 1991
  • Кирьянов А.П.
RU2008652C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, РАСПОЛОЖЕННЫХ ПОД УГЛОМ К ОПТИЧЕСКОЙ ОСИ 2014
  • Барышников Николай Васильевич
  • Гладышева Яна Владимировна
  • Животовский Илья Вадимович
  • Денисов Дмитрий Геннадьевич
  • Абдулкадыров Магомед Абдуразакович
  • Патрикеев Владимир Евгеньевич
RU2573182C1
Автоколлимационное устройство 1990
  • Ващенко Валерий Иванович
  • Конопальцева Людмила Ивановна
  • Кудрявцев Сергей Владимирович
  • Мохунь Игорь Иванович
  • Подильчук Николай Сидорович
  • Прохорович Петр Сильверстрович
SU1727105A1
Рефрактометр поляризационный 1984
  • Пеньковский Анатолий Иванович
  • Афанасенко Римма Тауфиковна
SU1155921A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 670 394 A1

Реферат патента 1991 года Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов. Цель изобретения - обеспечение возможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов. Рефлектометр содержит источник излучения, установленные по ходу излучения гониометр с двумя столиками 1 и 2 с возможностью размещения на них эталонного и контролируемого объектов, модулятор, фотоприемник, два поляризатора 6 и 7 со взаимно перпендикулярными плоскостями поляризации. При этом из плоскостей установлена в плоскости горизонтально расположенного столика 1, а другая - в плоскости, перпендикулярной плоскости столика 2. Рефлектометр также содержит четыре плоских зеркала 8, 9, 10 и 11, установленных попарно по обе стороны от каждого из столиков 1 и 2. Модулятор выполнен в виде двух зеркал 3 и 4, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал 8, 9 и 10, 11 и кинематически связанных между собой. 2 ил.

Формула изобретения SU 1 670 394 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1991 года SU1670394A1

Способ бесконтактного контроля качества обработки поверхности оптических деталей и устройство для его осуществления 1983
  • Дрозд Петр Иосифович
  • Поперенко Леонид Владимирович
  • Шайкевич Игорь Андреевич
SU1352201A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 670 394 A1

Авторы

Дрозд Петр Иосифович

Поперенко Леонид Владимирович

Щайкевич Игорь Андреевич

Даты

1991-08-15Публикация

1989-03-20Подача