о VI о
со ю
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов.
Цель изобретения - обеспечение возможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов.
На фиг. 1 изображена принципиальная схема рефлектометра, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид сверху.
Устройство содержит источник излучения (не показан), столик 1, предназначенный для размещения на нем эталонного объекта (не показан), столик 2, предназначенный для размещения на нем контролируемого объекта (не показан), зеркала 3 и 4, фотоприемник 5, поляризаторы 6 и 7, зеркала 8 - 11. Гониометр включает столики 1 и 2, 00 - ось вращения гониометра. Модулятор включает зеркала 3 и 4, которые кинематически связаны между собой. Плоскости поляризации поляризаторов б и 7 взаимно перпендикулярны и установлены так, что одна из них размещена в плоскости, перпендикулярной плоскости столика 1. а другая - в плоскости горизонтально расположенного столика 2.
Рефлектометр работает следующим образом.
Направленное вдоль оси 00 излучение попадает на зеркало 3, при вращении которого вокруг оси, перпендикулярной оси 00 , излучение поочередно направляется либо на столик 1, либо на столик 2, а затем, после отражения от эталонного и контролируемого объектов и соответственно зеркал 10 и 11, направляется на зеркало 4, направляющее поочередно (вследствие кинематической связи с зеркалом 3) излучение либо от эталонного, либо от контролируемого объекта к фотоприемнику 5, где регистрируемый сигнал переменного тока (напряжения) прямо пропорционален уровню различия коэффициентов отражения в р-поляризации для контролируемого объекта и s-поляриза- ции для эталонного объекта. Поскольку плоскости поляризации поляризаторов б и 7
взаимно ортогональны, то при их повороте на 90° вокруг оси пучка излучения, направления плоскостей поляризации отраженного от эталонного и контролируемого объектов
излучения меняются местами и регистрируемый на фотоприемнике 5 сигнал переменного тока (напряжения) соответствует уровню различия коэффициентов отражения в р-поляризации для эталонного объекта и s-поляризации для контролируемого объекта. По разности величин сигналов перемен ного тока, полученной в результате размещения в указанных двух азимутальных положениях поляризаторов 6 и 7, отличающихся на 90°,
определяют величину расхождения параметров поверхности контролируемого объекта по отношению к эталонному.
С помощью рефлектометра можно измерить комбинированные поляризационные
параметры поверхностей как жидких, так и твердых объектов плоской формы.
Формула изобретения Рефлектометр для измерения поляризационных параметров поверхности объекта, содержащий источник излучения, установленные по ходу излучения гониометр, включающий столики, предназначенные для размещения на них соответственно эталонного и контролируемого объектов, модулятор и фотоприемник, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов, он снабжен двумя поляризаторами со взаимно перпендикулярными направлениями поляризации, одно из которых параллельно плоскости столика, предназначенного для размещения на нем эталонного объекта, а другое - параллельно плоскости, перпендикулярной плоскости столика, предназначенного для размещения на нем контролируемого объекта, и четырьмя плоскими зеркалами, установленными попарно
по обе стороны от каждого столика, а модулятор выполнен в виде двух пар плоских зеркал, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал и кинематически связанных между собой.
Ф
фиг.1
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности деталей | 1990 |
|
SU1712781A1 |
Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности плоских деталей | 1987 |
|
SU1649263A1 |
Устройство для бесконтактного контроля качества обработки поверхности деталей | 1987 |
|
SU1499114A1 |
Рефрактометр для анизотропных кристаллов | 1982 |
|
SU1100541A1 |
ИЗОБРАЖАЮЩИЙ МИКРОЭЛЛИПСОМЕТР | 2010 |
|
RU2503922C2 |
Устройство для измерения поляризационных характеристик анизотропных сред | 1982 |
|
SU1021959A1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТА | 1991 |
|
RU2008652C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, РАСПОЛОЖЕННЫХ ПОД УГЛОМ К ОПТИЧЕСКОЙ ОСИ | 2014 |
|
RU2573182C1 |
Автоколлимационное устройство | 1990 |
|
SU1727105A1 |
Рефрактометр поляризационный | 1984 |
|
SU1155921A1 |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов. Цель изобретения - обеспечение возможности измерения комбинированных поляризационных параметров поверхности жидких объектов. Рефлектометр содержит источник излучения, установленные по ходу излучения гониометр с двумя столиками 1 и 2 с возможностью размещения на них эталонного и контролируемого объектов, модулятор, фотоприемник, два поляризатора 6 и 7 со взаимно перпендикулярными плоскостями поляризации. При этом из плоскостей установлена в плоскости горизонтально расположенного столика 1, а другая - в плоскости, перпендикулярной плоскости столика 2. Рефлектометр также содержит четыре плоских зеркала 8, 9, 10 и 11, установленных попарно по обе стороны от каждого из столиков 1 и 2. Модулятор выполнен в виде двух зеркал 3 и 4, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал 8, 9 и 10, 11 и кинематически связанных между собой. 2 ил.
Способ бесконтактного контроля качества обработки поверхности оптических деталей и устройство для его осуществления | 1983 |
|
SU1352201A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1991-08-15—Публикация
1989-03-20—Подача