Изобретение относится к химии и касается способа получения фторидных просветляющих покрытий, имеющих чрезвычайно высокую границу прозрачности, что позволяет их использовать в оптических приборах одновременно в УФ- и ИК-областях.
Цель изобретения - улучшение качества покрытий и увеличение скорости процесса.
Эксперименты, описанные в примерах, проводили на установке для нанесения покрытий. В качестве подложек использовали диски диаметром 25 мм, толщиной 2 мм.
Пример 1. Процесс проводят следующим образом. Подложку нагревают в вакууме при давлении торр. Затем в зону осаждения напускают кислород и подают исходное газообразное соединение, испаренное в испарителе. Для получения равномерного покрытия вводится вращение подложки. По окончании процесса прекращают подачу кислорода и исходного газообразного соединения в зону осаждения, производят откачку до давления торр, выключают нагрев. Подложку с помощью манипулятора переносят в камеру хранения, охлаждают до комнатной температуры при давлении 10 торр. Затем в камеру хранения напускают аргон до давления 1 атм. камеру разгерметизируют и вынимают полученный образец,
Получение покрытия из гексафтораце- тилацетоната магния (II) на лейкосапфире ведут при следующих режимах: навеску исходного материала 15 мг; нагрев материала ведут в испарителе при ТИСл 90°С;
О
о
Ј
iCJ
давление в камере осаждения (Р) 760 торр; время процесса (t) 10 мин.
Пример 2. Получение покрытия из гексафторацетилацетоната кальция (II) на лейкосапфире. Навеска 15 мг. ТПодл. 500°С, Тисп. - 160°С, Р- 1 ropp, t 10 мин.
Пример 3. Получение покрытия из гексафторацетилацетоната стронция (II) на лейкосапфире. Навеска 15 мг. ТПодл. 550°С, Тисп. - 200°С, Р - 2 торр, t 10 мин.
Пример 4. Получение покрытия из гексафторацетилацетоната бария (II) на лейкосапфире. Навеска 15 мг. Тподл. 600°С, Тисп. 220°С, Р торр, t 10 мин.
Пример 5. Получение покрытия из пивалоилтрифторацетилацетоната бария (II) на лейкосапфире. Навеска 15 мг. Тподл. 450°С, Тисп. 250°С, Р 5 торр, t 10 мин.
Пример 6. Кроме перечисленных опытов проведен следующий эксперимент. Трифторацетилацетонат магния (II) растворяют в этиловом спирте, полученный раствор наносят на кварцевую пластину 40 х 40 мм. После испарения растворителя образец помещают в предварительно нагретую до 500°С муфельную печь. После 10 мин выдерживания при данной температуре образец вынимают из печи и охлаждают до комнатной температуры. Данные рентгенофазово- го анализа (РФА) и химического анализа свидетельствуют об образовании на поверхности кварца пленки MgFa.
Все полученные покрытия представляют собой прозрачные поверхности с хорошей адгезией к подложке. Методами РФА, рентгенофотоэлектрон ной спектроскопии, электронной микроскопии и химического анализа проведено исследование получен
ных фторидных покрытий. Установлено,что они являются стехиометрическими по составу, поликристаллическими. В ряде случаев, когда параметры кристаллических ячеек 5 подложки и осаждаемого материала близки, наблюдается эпитаксиальный рост покрытий.
Таким образом, предлагаемый способ получения покрытий из а-фторзамещен10 ных производных / -дикетонатов Мд (II), Са (II), Sr(ll), Ba (II) дает возможность получать фторидные покрытия на изделия сложной формы и на внутренние поверхности изделий, улучшать качество покрытий, получать
15 прозрачные пленки, а также увеличить адгезию к подложке, повысить скорости роста пленокдо50 А/с. Использование более низкого вакуума по сравнению с известным способом позволяет значительно упростить
20 конструкцию установки.
Формула изобретения Способ получения просветляющих фторидных покрытий щелочноземельных ме25 таллов, включающий нагрев исходного материала в герметичной системе, его испарение, массоперенос с нагретой подложке и осаждение на ней пленки, отличающий- с я тем, что, с целью улучшения качества
30 покрытий и увеличения скорости процесса, в качестве исходного материала используют а-фтор-зэмещенные производные /3-дике- тонатов щелочноземельных металлов, процесс ведут при их нагреве в интервале
35 температур 160-250°С, нагреве подложки
до 370-600°С 760 торр.
г2
и давлении кислорода 10 
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПАЛЛАДИЕВОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ | 2013 |
|
RU2555283C2 |
| Способ получения бета-дикетоната палладия(II) | 2016 |
|
RU2641893C1 |
| Способ получения бета-дикетонатов платины(II) | 2017 |
|
RU2659073C1 |
| Способ получения покрытий на основе металлов платиновой группы на полюсных наконечниках эндокардиальных электродов | 2016 |
|
RU2630400C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БЕТА-ДИКЕТОНАТОВ РОДИЯ (III) И ИРИДИЯ (III) | 1996 |
|
RU2105008C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БЕТА-ДИКЕТОНАТА ПАЛЛАДИЯ (II) ИЛИ МЕДИ (II) | 2010 |
|
RU2433114C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОРИЕНТИРОВАННЫХ ФТОРИДНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ | 2008 |
|
RU2405857C2 |
| ПОКРЫТИЯ, СПОСОБЫ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ УМЕНЬШЕНИЯ ОТРАЖЕНИЯ ОТ ОПТИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК | 1997 |
|
RU2204153C2 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ОКСИДА ОЛОВА НА ПОДЛОЖКАХ | 2009 |
|
RU2397572C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГИБРИДА ГРАФЕНА И УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК | 2013 |
|
RU2548989C2 |
Изобретение относится к химии и касается способа получения просветляющих фторидных покрытий, имеющих чрезвычайно высокую границу прозрачности, что позволяет их использовать в оптических приборах одновременно в УФ- и ИК-областях, обеспечивает улучшение качества покрытий и увеличение скорости процесса. Способ включает нагрев исходного материала в герметичной системе, его массоперенос к нагретой подложке и осаждение на ней в виде пленки. В качестве исходного материала используют а-фторзамещенные производные /3-дикетонатов щелочноземельных металлов. Процесс ведут при их нагреве до 160- 250°С, нагреве подложки до 370-600°С и давлении кислорода 10 2-760 торр. Получены пленки стехиометрического состава с хорошей адгезией к подложке. Скорость осаждения до 50 А/с. Ё
| Крюков С.В, и др | |||
| Исследование структуры тонких пленок фторидов металлов при старении | |||
| - Оптико-механическая промышленность, 1988, № 10, с | |||
| Способ гальванического снятия позолоты с серебряных изделий без заметного изменения их формы | 1923 |
|
SU12A1 |
